Gebraucht CANON FPA 6000 AS4 #293753702 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 6000 AS4
ID: 293753702
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2003
ArF Scanner, 8" Reticle, 6" Cassette: Left SCSI Hard Disk Drive (HDD) Wafer loader type: SCH Robot Reticle alignment: EXA Scope unit Chamber type: FPA-6000-ASA CCD Autofocus mode PC: HP B2600 2003 vintage.
CANON FPA 6000 AS4, ist ein fortschrittlicher Wafer Stepper entwickelt, um den bildgebenden Prozess in der Photolithographie zu erleichtern. Mit einer Bildgrößengenauigkeit von 5,8 μ m, einer Überlagerungsgenauigkeit von 1,6 nm und einer schnellen Abbildungsprozessrate von bis zu 100 Wafern pro Stunde eignet sich die Maschine für die Produktion von hochvolumigen Halbleitern mit hohem Durchsatz. Die Maschine ist mit einem hochpräzisen sechsachsigen Roboter mit geringer Belastung für eine schnelle und genaue Bühnenbewegung ausgestattet und verfügt über eine vertikale Vibrationskompensation, um optimale Ergebnisse beim Drucken mehrerer Chips auf einem einzigen Wafer zu erzielen. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer Hochleistungs-Excimer-Laserlichtquelle ausgestattet, die hochauflösende Bilder mit einer minimalen Belichtungszeit gewährleistet. Dadurch ist die Maschine für die Produktion mit hohem Volumen und hohem Durchsatz geeignet. FPA 6000 AS4 verfügt auch über eine zuverlässige Flüssigkristall-Strahl-Formung Ausrüstung, die hochgenaue Strahlablenkung Steuerung. Dadurch kann die Maschine mit hoher Präzision arbeiten und mögliche Formfehler reduzieren. Die Maschine bietet zudem eine automatisierte Fokussteuerung, so dass Druckbilder unabhängig von Bühnen- und Substratbedingungen präzise und schnell erzeugt werden können. Darüber hinaus verfügt es über ein automatisiertes Ausrichtungssystem, mit dem Benutzer die Strahlposition vor dem Drucken schnell anpassen können, was die Auflösung und Genauigkeit der gedruckten Bilder verbessert. Zusätzlich zu seinen bildgebenden Funktionen bietet das Gerät auch erweiterte Werkzeuge zur Musterbearbeitung, mit denen Benutzer erweiterte Muster mit feineren Details entwerfen können. Darüber hinaus kann die Musterplatzierung genau verfolgt werden, so dass das Druckmuster unabhängig von der Bühnenposition genau ist. Schließlich ist die Maschine mit einer robusten Datenverwaltungsmaschine ausgestattet, die dem Benutzer die Möglichkeit bietet, eine Vielzahl von Daten zu speichern, einschließlich Parameter, Rezepte und Messergebnisse. Dies macht es einfach, mehrere Wafer zu verwalten und den Lebenszyklus jedes Wafers zu verwalten. Zusammenfassend ist CANON FPA 6000 AS4 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der hohe Präzision und hohen Durchsatz für photolithographische Prozesse liefert. Mit seiner schnellen Abbildungsprozessrate und dem zuverlässigen Design ist die Maschine ideal für jede photolithographische Umgebung, insbesondere für diejenigen, die hohe Produktmengen benötigen.
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