Gebraucht CANON FPA 6000 AS4 #293815419 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 6000 AS4
ID: 293815419
ArF Scanner Missing parts: Lens Stage Printed Circuit Board (PCB) HAN1‑1 Robot C-robot R-robot Pump.
CANON FPA 6000 AS4 ist ein Wafer Stepper, der einen kleinen Platzbedarf und große optische Linsen bietet, so dass es eine ideale Wahl für lithographische Prozesse. Dieser Wafer-Stepper hat eine maximale Linsengröße von 150 mm bei 0.40NA und ist aufgrund seiner fortschrittlichen Optik in der Lage, halbkugelförmige Oberflächen zu belichten. FPA 6000 AS4 verfügt zudem über eine 200mm Feldgröße und eine minimale Laserfleckgröße bis 0,5 Mikrometer. Dieses Gerät ist mit verschiedenen Funktionen und Technologien ausgestattet, wie z. B. seiner aktiven Retikel-Ausrichtausrüstung, die die Fähigkeit zur besseren Genauigkeit und verbesserten Overlay-Steuerung mit CANON proprietärem Retikle-Ausrichtsystem bietet. CANON FPA 6000 AS4 verfügt auch über CANON erweiterte gekrümmte Feld Beleuchtungseinheit und eine aerodynamische Fokusmaschine für schnellere Belichtungszeiten. Dieser Wafer Stepper hat auch eine große Sensor numerische Apertur von bis zu 0,90, mit sechs unabhängigen Erkennungsbereichen, die es genauer und leistungsfähiger als andere Wafer Stepper auf dem Markt machen. Darüber hinaus verfügt FPA 6000 AS4 über eine große Auswahl an Belichtungs- und Scanformaten. Dazu gehören rasterbasierte binäre Belichtung, Photomasken-Scannen, Schlitzscannen und Zeilenscannen sowie eine Auswahl an Formaten für jede Anwendung. Darüber hinaus verfügt CANON FPA 6000 AS4 über ein exklusives On-the-Fly-Beleuchtungswerkzeug, das das Beleuchtungsmuster anhand der Belichtungsform anpasst. Dadurch wird sichergestellt, dass das Bild für beste Ergebnisse exakt homogenisiert wird. Alle Funktionen von FPA 6000 AS4 macht es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen in lithographischen Prozessen.
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