Gebraucht CANON FPA 6000 ES5 #9253683 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES5 ist ein von CANON Inc. hergestellter Wafer-Stepper, der eine präzise Platzierung und Strukturierung fortschrittlicher Halbleiterbauelementschichten mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Es verfügt über eine integrierte fortschrittliche Lithographie-Ausrüstung, die sich ideal für Prozesse wie die Herstellung von Halbleiterbauelementen und die Deca-Exposition eignet. Der Stepper verwendet doppelte Belichtung für verbesserte Ausrichtung und Präzision Platzierung. Es hat auch eine wählbare Betriebsumgebung, die unterschiedliche Verarbeitungsbedingungen wie Hochtemperatur und variable Gasatmosphäre verarbeiten kann. FPA 6000 ES5 ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, die eine effiziente und präzise Musterung auf Waferebene ermöglichen. Dazu gehören ein modernes Laser-Interferometer-System, eine Luftmessereinheit und eine hochpräzise temperaturgesteuerte Resistentwicklungsmaschine mit durchschnittlicher Platzierungsgenauigkeit innerhalb von 2 µm. Sein hochauflösendes Werkzeug zur automatischen Fokussierung bietet einen optimalen Belichtungsprozess an jeder Position. Der Stepper verfügt über eine 6k-Pixel-Array-Bildsensoreinheit, die eine hochauflösende Musterfunktion bietet. Auch ein Hochgeschwindigkeits-Auto-Shutter mit geräuscharmer Verschlussfunktion ist integriert, was den Durchsatz der Anlage erhöht. Der Stepper hat eine maximale Auflösung von 5 Mikron und ist in der Lage, 6 Zoll und 8 Zoll Wafer zu verarbeiten. CANON FPA 6000 ES5 ist für geringen Stromverbrauch bei geringem Wasserdampfgehalt ausgelegt. Das fortschrittliche Umweltkontrollmodell ermöglicht eine effiziente Leistung bei Prozesstemperaturen von 20 ° bis 30 ° C, ohne zusätzliche Kühlung. Die Maschine bietet auch genaue Kontrolle der Belichtungsbreite, um die Musterauflösung eng zu regulieren. Der Stepper ist mit einer Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen, die Ethernet, USB und RS-232 umfassen, entworfen, so dass es ideal für Debugging und Wartung Operationen. Darüber hinaus sorgt die integrierte Inspektionsausrüstung für eine genaue Platzierung und Erkennung von Fehlern. FPA 6000 ES5 ist auch für einfache Wartung mit einer sauberen Schnittstelle, reduzierte Kalibrierungszeiten und erweiterte Überwachungsfunktionen konzipiert.