Gebraucht CANON FPA 6000 ES5 #9291039 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES5 ist ein Top-of-the-Line Wafer Stepper. Es ist eine fortschrittliche Lithographieausrüstung für fortschrittliche Halbleiterprozesse. Es verfügt über ein einzigartiges und innovatives optisches Design, das es ermöglicht, die Rauheit der Linienbreite zu reduzieren und eine überlegene Mustertreue zu erzielen. Das System bietet darüber hinaus hohe Leistung, Flexibilität, Durchsatz und Zuverlässigkeit, die für die heutigen Fertigungsumgebungen von entscheidender Bedeutung sind. FPA 6000 ES5 Wafer Stepper ist ideal für Belichtungstechnologien mit kürzeren Wellenlängen Lichtquellen. Es verfügt über einen integrierten Lasermikromirrorscanner, der es dem Gerät ermöglicht, verschiedene Laserquellen wie Excimer, F 2, H 2 +, Argon und YAG zu unterstützen. Dieser Scanner ist in der Lage, den Laserstrahl mit Geschwindigkeiten so schnell wie 150Hz zu bewegen und bietet eine insgesamt etwa fünfmal schnellere Mustergeschwindigkeit als herkömmliche Wafer-Stepper. Darüber hinaus können Stufengeschwindigkeit und Beschleunigung der Maschine 8kHz Pulsraten bei 0,5 g unterstützen. CANON FPA 6000 ES5 integriert eine Reihe anspruchsvoller Technologien, um seine Leistung zu maximieren. Dazu gehört ein fortschrittliches optisches Werkzeug mit Nanogenauigkeit, hohem Kontrast und einer Toleranz von 0,5 nm, das für die Strukturierung von sublithographischen Merkmalen entscheidend ist. Es verfügt auch über eine 5-zu-2-Entmagnetisierungslinse mit großem Durchmesser, um ein großes Bildfeld mit großer Strahlengröße zu schaffen und Lichtintensitätsrauschen zu reduzieren. Darüber hinaus bietet es ein „Smart Processing Asset“, das automatisch Einstellungen für einen höheren Durchsatz und verbesserte Linienbreiten bearbeitet. FPA 6000 ES5 ist ein Top-of-the-Line-Wafer-Stepper, der in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet werden kann, einschließlich fortschrittlicher Halbleiterverpackungen und IC-Design. Sein ausgeklügeltes optisches Modell, schnelle Geschwindigkeiten und leistungsstarke Laserquellen ermöglichen es, die Rauheit der Linienbreite zu reduzieren und die Mustertreue zu verbessern. Darüber hinaus minimieren das große Bildverarbeitungsfeld und die „intelligente Verarbeitungsausrüstung“ Lichtintensitätsrauschen und maximieren den Durchsatz. Damit ist CANON FPA 6000 ES5 die perfekte Wahl für fortschrittliche Halbleiterprozesse.