Gebraucht CANON FPA 6000 ES6 #9210240 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
FPA 6000 ES6
ID: 9210240
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
KrF Scanner, 12" 248 nm Loading config: Right hand loader In-line with TEL Clean Track Lithius Notch type, 12" (LCP Wafer chuck equipped) R-Type, Type X Auto feeder LITHIUS Type Coater developer R-Type Inline direction R-Type: Wafer thermal controller plate, 12" (WTC) L-Type: Open cassette, 12" CANON Standard booth unit Reticle changer (Reticle SMIF changer unit) Reticle barcode reader: 6" Pellicle particle checker type: 6" (Pellicle height 5mm) GIGAPHOTON G41K3-1H Excimer laser RH Type: Delivery optics Front side e-console kit Signal tower type: 3 Colors Power: 200 AC, 3 Phase 2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6 Wafer Stepper ist ein präzises optisches Bildgebungswerkzeug, das fortschrittliche Technologie verwendet, um es Anwendern zu ermöglichen, eine breite Palette von Substraten, einschließlich komplexer Materialien und Strukturen, genau zu untersuchen, zu inspizieren und zu verarbeiten. Damit ist es das perfekte Werkzeug für die Halbleiterherstellung, Forschung und Entwicklung. CANON FPA-6000 ES6 ist äußerst präzise und bietet eine hohe Bildgebungsrate von bis zu 1,2 Sekunden pro Sichtfeld. Seine sechs individuellen Belichtungsköpfe enthalten eine Vielzahl von Linsen und Abschrägungsoptiken, um eine Flexibilität bei der Substratbelichtung zu ermöglichen. Dieser Wafer-Stepper bietet mit seinem High Dynamic Speed Imaging Mode, der bis zu 175X Belichtungsgeschwindigkeit bietet, eine signifikante Bildbeschleunigung. Es hat auch eine breite Spektrum Beleuchtungsquelle, mit Wellenlängen von ultraviolett bis infrarot, einschließlich sowohl sichtbares als auch unsichtbares Licht für überlegene Bildgebung. Dies ermöglicht hochauflösende und kontrastreiche Messungen und ist somit ideal für verschiedene Anwendungen geeignet. Die FPA 6000 ES6 bietet zudem eine ergonomische Umgebung mit automatisierten Wafer-Handling und Pre-Alignment-Systemen. Diese ermöglichen es dem Anwender, Wafer schnell und präzise in die Schrittkammer hinein und aus dieser heraus zu bewegen, wodurch der Prozess noch stärker gestrafft wird. Dies ist besonders nützlich für Hochdurchsatzarbeiten. Das Gerät ist zudem hocheffizient und verfügt über ein energiesparendes Beleuchtungssystem, das 90% weniger Energie verbraucht als herkömmliche bildgebende Systeme. Kombiniert mit einer verbesserten Kühleinheit, die die Temperaturen jederzeit im optimalen Bereich hält. Dies hilft, die Lebensdauer der Maschine zu verlängern und gleichzeitig die Kosten zu senken. Schließlich bietet FPA-6000 ES6 eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die für höchste Leistung und Effizienz sorgen. Dazu gehören ein automatisiertes Kalibrierwerkzeug, ein Autofokus-Asset, das manuelle Fokusanpassungen eliminiert, und ein patentierter Partikelstrahl niedriger Dichte (LDPB), der die Bildkonsistenz und den Kontrast verbessert. Alle diese Funktionen tragen zur allgemeinen Zuverlässigkeit und Produktivität des Modells bei.
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