Gebraucht CANON FPA 6000 ES6 #9235775 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6 ist ein Wafer-Stepper zur Unterstützung fortschrittlicher Verpackungsanwendungen. CANON FPA-6000 ES6 bietet eine breite Palette von Funktionen für optimale Leistung. Es verfügt über opto-Bedsteerable Ausrichtungstechnologie, die Feinheiten mit weniger Unsicherheit und Rückverfolgbarkeit ermöglicht. Dies wird durch ein neu entwickeltes Galvanometer-Spiegelsystem ermöglicht, das die Belichtungsposition leicht bis auf 0,1 Mikron einstellen kann und auch bei hohen Belichtungspegeln eine höhere Präzision und Genauigkeit bietet. FPA 6000 ES6 ist mit fortschrittlichem Precision Multi-Layer Exposure (PMLE) und hohem Transmissionsraum ausgestattet. Auf diese Weise behält der Stepper eine hohe Auflösung bei Gleichmäßigkeit innerhalb der maximalen 3-Mikron-Schicht-Schicht-Registrierung. Dies wird auch mit einer schnellen Drahtbreiten-Abbildung und homogenen Prozessen für die 3D-Geräteherstellung geliefert, die eine höhere Präzision und einen höheren Durchsatz innerhalb derselben Schicht ermöglichen. FPA-6000 ES6 ist mit mehreren erweiterten Automatisierungsfunktionen ausgestattet. Dazu gehört ein Autofokussierungssystem, das das Arbeiten mit 1X, 5X und 10X Objektiven ermöglicht, so dass man Bild, Muster und Waferposition manuell oder automatisch kalibrieren kann. Es ermöglicht auch High-Density Plating (HDP) -Prozesse, wodurch die Verarbeitungszeit um bis zu 40% reduziert werden kann. Darüber hinaus unterstützt es auch verschiedene Wafergrößen von 8 Zoll bis 12 Zoll. Dies zeigt die Produktion der Wafer-Technologie der nächsten Generation, die groß genug für anspruchsvolles Stapeln oder andere Designs sein kann. Die hochpräzise CANON FPA 6000 ES6 wurde ebenfalls entwickelt, um einen höheren Leistungsdurchsatz zu erreichen. Dies geschieht, indem die Stufengeschwindigkeit auf maximal 2,8 Zoll/Sekunde erhöht wird, ohne die Genauigkeit und Präzision zu beeinträchtigen. Darüber hinaus hat es eine Ausrichtungsgenauigkeit von 0,3 Mikrometer, wodurch die Nicht-Produktivität durch schlechte Ausrichtung reduziert wird. Seine CCD-Ausrichtung gibt ihm die Möglichkeit, über ein breites Feld von 9,6 mm zu messen und gleichzeitig die Messzeit zu reduzieren. Schließlich ist CANON FPA-6000 ES6 mit einer interlockierenden Speichersteuerung ausgestattet, um die Schreibdaten zu sichern und sicherzustellen, dass die Ausrichtungs- und Belichtungsprozesse genau auf das Chipdesign abgestimmt sind. Es hat auch ein Doppel-Tracking-System mit einer Ausrichtungsfehler-Peak-Erkennung. Dies bietet einen geschichteten und präzisen Breitengrad, um eine präzise stabile Waferbewegung während des gesamten Prozesses zu gewährleisten.