Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9193101 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6a ist ein Wafer-Stepper, der für Geräteherstellungsprozesse entwickelt wurde, die eine hohe Genauigkeit, eine ausgezeichnete Ausrichtung und einen stabilen Betrieb erfordern. Es ist ein fortschrittliches Werkzeug, das verbesserten Produktionsdurchsatz und minimalen Waferverlust bietet. Die Leistung von CANON FPA 6000ES6A basiert auf seiner überlegenen optischen Ausrüstung, einer Kombination aus einem High-NA-Projektionsobjektiv und einem Vier-Sensor-Wafer-Ausrichtungssystem für eine sehr genaue Overlay-Ausrichtung. Die hohe NA-Projektionslinse ist von NA 0,75 und bietet eine überlegene Auflösung von 1,5 µm; dies und die vier Sensoren helfen bei der äußerst präzisen und genauen Ausrichtung. Das interne Wafer-Handling-Modul bietet eine höhere Präzision mit einer Genauigkeit von bis zu ± 2 µm, um getrennte Belichtungen auf dem Wafer effektiv zu erzielen, um kleinere Bauteile herzustellen. Darüber hinaus verfügt der Stepper über ein einzigartiges Wafer-Futterdesign, das den Wafer weniger oft extrahiert als herkömmliche Wafer-Stepper, was weniger Möglichkeiten für Partikelverunreinigungen bedeutet. FPA-6000ES6A bietet hervorragende Verarbeitungsgeschwindigkeit und Genauigkeit. Es bietet Belichtungsgeschwindigkeit von bis zu 12 Sekunden/Schicht über den gesamten Wafer. Darüber hinaus ist seine Abbildungsgleichförmigkeit außergewöhnlich, was eine sehr zuverlässige Ausrichtung jedes Chips auf einem Wafer ermöglicht. Eine benutzerfreundliche DSC1000-Einheit ist das Herzstück von FPA 6000 ES6a, so dass Benutzer problemlos auf alle Funktionen zugreifen können. Diese Maschine bietet Anwendern einen umfassenden Datensatz für jede Schicht, der eine Analyse der Ergebnisse mit Prozessprofilen und konsistente Optimierungen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt CANON FPA-6000ES6A über eine Reihe benutzerfreundlicher Funktionen wie Autofokus und Wafer-Jig-Erkennung. Diese praktischen Funktionen minimieren die Rüstzeit und die Anzahl der manuellen Operationen. Darüber hinaus ermöglicht der automatische Vorrichtungslader, dass mehrere Wafervorrichtungen ohne Unterbrechung auf dem Waferspannfutter platziert werden können, um sicherzustellen, dass die Wafer in kürzester Zeit produktionsbereit sind. Schließlich ist CANON FPA 6000 ES 6 A für langfristige Zuverlässigkeit gebaut. Es verfügt über eine Reihe wichtiger Sicherheitskomponenten wie ein Wafer-Brucherkennungswerkzeug und einen Stauberkennungssensor, um einen zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. FPA 6000 ES 6 A ist eine ideale Wahl für Präzisionslithographie in Geräteherstellungsprozessen. Die Kombination von Funktionen macht es zu einer vertrauenswürdigen Lösung für Produktion und Entwicklung auf kommerziellem Niveau.