Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9198402 zu verkaufen

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Hersteller
CANON
Modell
FPA 6000 ES6a
ID: 9198402
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2013
KRF Scanner, 12" SMIF Component: GEM Wafer OF type: Notch Inline flow: Right W/L & R/L: RL Library: Center PPD Type: PPD2 GIGA G41K3-H Laser Stage: Scan speed: 250mm/sec Chuck: Pin Components: PO Module W/S Module R/S Module Booth1 PSR W/S Chuck Laser CPSU UNT 1 CPSU UNT 2 2013 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a ist ein Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Mikroschaltungen, Photomasken und anderen verwandten Produkten verwendet wird. Es verwendet ein großes Sichtfeld (77mm x 78mm), um sicherzustellen, dass Geräte genau abgebildet werden können, und es hat eine hohe Auflösung von 0,45 um für die Pinhole-Inspektion. Dieses Gerät ist in der Lage, doppelseitige Musterung und doppelseitige Ausrichtung, so dass mehrschichtige Geräte effizient hergestellt werden können. CANON FPA 6000ES6A verfügt über eine umfassende Overlay-Genauigkeit mit einer Kombination aus Punktausrichtung und freier Ausrichtung Kompensationen. Darüber hinaus wird die Wellenlängenabtastung entwickelt, um die Bildverbesserung zu optimieren. Das in FPA-6000ES6A verwendete Objektiv ist so konzipiert, dass es höchste Leistung bietet, indem es ein scharfes Bildfeld mit ausgezeichnetem Kontrast und minimalem Flare bietet. Darüber hinaus sorgt diese Linse, die einen großen Wellenlängenbereich abdeckt, dafür, dass die unterschiedlichsten Gerätebedürfnisse erfüllt werden. Das ES6a ist für einen maximalen Durchsatz von beeindruckenden 180wspm ausgelegt. Mit integrierten Fokussierungs- und Musterpositionierungssensoren sowie einem Micromirror-Gerät mit hochauflösendem digitalen Grafikdisplay ermöglicht CANON FPA-6000ES6A eine optimale Prozesssteuerung. Die FPA 6000 ES6a bietet eine kostengünstige Alternative zum herkömmlichen Doppelreflexionsspiegelsystem. Es ist mit einem elektrostatischen 100kHz Scan-Spiegel ausgestattet, reduziert Vibrationen, um die Durchsatzgeschwindigkeit zu erhöhen und reduziert Ausfallzeiten. Darüber hinaus beinhaltet die ES6a eine Linsenkappe-Ausrichtungsfunktion, die den Bedarf an häufiger Optimierung verringern und den Einstellzyklus verkürzen soll. CANON FPA 6000 ES 6 A verfügt zudem über ein hochempfindliches Photomasken-Wafer-Ausrichtsystem. Der Hauptvorteil des Ausrichtsystems besteht darin, dass es eine hohe Genauigkeitsbewegung von gezielter Position zu Position bei Unterwinkelgenauigkeit gewährleistet. Um ein minimales Aufflackern zu gewährleisten, implementiert der Wafer Stepper außerdem einen importierten monochromen Monitor zur hochpräzisen visuellen Kontrolle. Insgesamt ist FPA 6000 ES 6 A ein hochentwickelter, effizienter und zuverlässiger Wafer-Stepper. Seine große Sichtfeld, beeindruckende Auflösung, Overlay-Genauigkeit und breite Palette von Fähigkeiten machen es zu einer idealen Lösung für die hochpräzise Herstellung von Mikroschaltungen, Photomasken und verwandte Artikel.
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