Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9210238 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 6000 ES6a
ID: 9210238
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Fine pattern aligner, 12" KrF Scanner: 248nm Notch wafer LCP Wafer chuck Auto feeder: L Type, Type X Loading config: Left hand loader Coater / Developer: LITHIUS Type Inline direction: L Type L-Type wafer thermal controller plate (WTC), 12" R Type open cassette, 12" CANON Standard booth unit Reticle changer Reticle SMIF changer unit Reticle barcode reader, 6" Pellicle particle checker, 6" Gigaphoton G41K3-1H excimer laser RH Type delivery optics Front side only e-Console kit Signal tower: (3) Colors type Power: 200 AC, 3 Phase 2005 vintage.
CANON FPA 6000 ES6a ist ein anspruchsvoller Wafer-Stepper, der in der Halbleiterherstellung und Photolithographie eingesetzt wird. Diese High-End-Maschine verfügt über einfache lineare Indizes, ultraschnelle Niedrigdüsenprozesse und einen niedrigen Abriebindex. Der Stepper ist in der Lage, mit einer breiten Palette von Wafern im Bereich von 3-12 Zoll im Durchmesser zu arbeiten und kann einen Bereich von Dicken aufnehmen, von 2mm bis 10mm. Im Zentrum von CANON FPA 6000ES6A steht eine hochpräzise optische Baugruppe, die mittels Laserdiodenabtasttechnologie Muster und dreidimensionale Formen präzise auf die Waferoberfläche überträgt. Das Gerät ist in der Lage, Stücke mit einer Präzision von bis zu 1 Mikron zu positionieren und auszurichten, was es ideal für die Herstellung von hochdetaillierten und komplizierten Designs macht. FPA-6000ES6A umfasst eine Reihe fortschrittlicher Merkmale und Verfahren, einschließlich einer zweistufigen Inspektionsausrüstung und einer zweidimensionalen Waferausrichtungstechnik. Darüber hinaus ermöglichen fortschrittliche Diskretisierungstechniken es der Maschine, Geometrien jedes Mal genau und genau auf die angegebenen zu platzieren. CANON FPA 6000 ES 6 zeigt auch ein Hochleistungsoblatenberührensystem, schnelle Be-und Entladung von Oblaten berücksichtigend, die Zykluszeit- und Zunahmenproduktivität verbessert. Darüber hinaus verfügt das Gerät über mehrere fortschrittliche Trocknungstechniken, um exponierte Bereiche vor ungleichmäßiger Benetzung und anderen Verunreinigungen zu schützen. CANON FPA-6000ES6A besteht aus speziellen, langlebigen Materialien, um die Innenraumkomponenten vor Staub, Schmutz und anderen Umweltfaktoren zu schützen. Die gesamte Einheit ist für einfachen Zugang und Wartung ausgelegt, so dass es ideal für den langfristigen Einsatz. Neben den neuesten Funktionen verfügt FPA 6000ES6A über eine umfassende Benutzeroberfläche, integriert mit einer Reihe von Softwarepaketen, die eine komfortable Echtzeitüberwachung der Maschinenleistung ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die intuitive Software dem Anwender, das Tool schnell und einfach an spezifische Bedürfnisse anzupassen. Insgesamt ist der FPA 6000 ES6a ein beeindruckender Wafer-Stepper mit einem erweiterten Leistungsspektrum und einer intuitiven Benutzeroberfläche. Seine Präzision, Genauigkeit und robuste Konstruktion machen es ideal für verschiedene Anwendungen der Photolithographie und Halbleiterherstellung.
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