Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9227778 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6a ist eine hochauflösende hochmoderne Maschine zur Herstellung hochwertiger Photomasken für die Herstellung von Halbleiterscheiben. Es ist ein Schritt und Wiederholung / Laseranordnung / Mustergenerator / Bedeckungsmaßausrüstung, die äußerste Genauigkeit und hohe Auflösung zeigt. Die Maschine ist ideal für die Produktion von Merkmalen bis zu 0,18 µm (7,5 nm). Es bietet eine breite Palette von Funktionen, darunter mehrere Belichtungsoptionen, Belichtungsausrichtung, Ausrichtung außerhalb der Achsen, Überlagerungsgenauigkeit und feldübergreifende Ausrichtung. CANON FPA 6000ES6A bietet eine beeindruckende Auswahl an Funktionen, Optionen und innovativen Technologien und ist damit die erste Wahl für die Herstellung von fortschrittlichen Chips und anderen Halbleiterscheiben. Die Hauptkomponenten der Maschine sind ein hochauflösender Laserstepper, eine Ausrichtstation, ein lineares Positioniersystem, ein integrierter Lasermustergenerator, eine Großraumwaferstufe, eine einstellbare Fokussiereinheit und eine umfassende Steuerungsmaschine. Das optische Werkzeug besteht aus einer Beleuchtungseinrichtung mit nahezu beugungsbegrenzter Optik für verbesserten Kontrast und Auflösung, einem belichteten Bildausrichtungsmodell, einem eingebauten Lasermustergenerator mit einem einzigartigen Strahlteiler zur überlegenen Überlagerung und einer Entmagnifizierungseinrichtung für optimale Überlagerungsgenauigkeit bei der Produktion von bis zu 0,18 µm (7,5 nm). Ein neu entwickeltes Off-Axis-Alignment-System bietet höchste Genauigkeit und Präzision für Overlay-Messungen und Kreuzfeldausrichtung. FPA-6000ES6A verfügt auch über dedizierte Software, die Kontrolle über alle integrierten Funktionen und Optionen der Maschine bietet. Es ist für einfache Navigation und Bedienung konzipiert, um Benutzern ausgezeichnete Produktivität und Bildqualität zu bieten. Mit seinem optionalen automatischen Mustergenerator können Benutzer schnell Musterdateien in jede Stufe der Belichtungseinheit des Steppers erstellen und laden. Die automatisierten Overlay-Kompensationssysteme ermöglichen eine präzise Multibelichtungsausrichtung für die hochgenaue Registrierung von Overlay-Funktionen. Benutzer können auf erweiterte Funktionen wie Fehlerreparatur für Chips-on-a-Wafer und Track-Reparatur für die Wiederholung von Mustern auf einem einzelnen Chip zugreifen, der als Option angeboten wird. FPA 6000ES6A ist eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen, wie hochpräzise industrielle Produktion, fortschrittliche Wafer-Level-Verpackung und Optoelektronik. Es bietet Anwendern eine Auswahl an hochauflösenden Bildgebungs- und Overlay-Ausrichtungsoptionen, wodurch es für erhöhte Produktionserträge, Genauigkeit und Zuverlässigkeit geeignet ist. Diese Maschine ist ideal für qualitätsorientierte Unternehmen und diejenigen in der Halbleiterindustrie, die maximale Leistung bei der Herstellung präziser und hochwertiger Wafer benötigen.