Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9235776 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6a
Hersteller
CANON
Modell
FPA 6000 ES6a
ID: 9235776
Wafergröße: 12"
Steppers, 12".
CANON FPA 6000 ES6a Wafer Stepper ist eine neue Art von Werkzeug für fortschrittliche Lithographie-Anwendungen verwendet. Dieses Gerät ist in der Lage, Wafer mit hoher Präzision und Genauigkeit zu strukturieren. Durch die Verwendung einer echten bildgebenden Linsenausrüstung wird die Genauigkeit und Auflösung des Belichtungsprozesses erheblich verbessert. CANON FPA 6000ES6A ist ein Stepper, der ein All-in-One-Design hat und mit einem vielseitigen, hochpräzisen bildgebenden optischen System ausgestattet ist. Diese optische Einheit wurde entwickelt, um eine genaue Wafer-Strukturierung zu gewährleisten. FPA-6000ES6A hat eine maximale Projektionsbildgröße von bis zu 21mm mal 21mm, eine Projektionsmaschine mit einer numerischen Apertur von 0,70 und variable Fokussysteme für unterschiedliche Fokustiefen. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine CYD-Optik, die sicherstellt, dass das Bild für den gesamten Belichtungsprozess im Fokus bleibt. Das Gerät ist auch mit verschiedenen Stufen des Belichtungsprozesses ausgestattet, wie Waferklemme, Projektionsausrichtung, Degas, Bildretikelbewegung, Autofokus-Werkzeug, Schrittbewegung und Detektionsmittel. All diese Stufen sollen die gesamte Lithographie-Prozesszeit verkürzen. CANON FPA 6000 ES 6 A hat eine programmierbare Belichtungszeit, so dass der Benutzer die Belichtungszeit für jeden Strukturierungsprozess leicht steuern kann. CANON FPA-6000ES6A ist in der Lage, sehr feine Merkmalsmuster. Es hat eine maximale Auflösung von 0,26 μ m für die Funktionsgröße und wurde entwickelt, um eine sehr präzise und genaue Strukturierung des Wafers zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Vorrichtung auch in der Lage, die Fotomaske mit sehr hoher Genauigkeit auf der Waferoberfläche zu überlagern. FPA 6000 ES6a ist äußerst zuverlässig und benutzerfreundlich. Es ermöglicht eine einfache Wartung und hat eine hohe Wiederholbarkeit. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, sehr feine Qualitätsmuster in sehr kurzer Zeit zu produzieren, so dass es ideal für hohe Produktion und große Produktionsanwendungen ist.
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