Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9247815 zu verkaufen
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CANON FPA 6000 ES6a ist ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der den Herstellern ermöglicht, die hohen Anforderungen ihrer Unternehmen zu erfüllen. Das ES6a ist eine in sich geschlossene Ausrüstung, die auf Genauigkeit, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. Die ES6a eignet sich aufgrund ihrer hochauflösenden Bilder und genauen Strukturierbarkeit ideal für Wafer-Stepper, die im Halbleiterherstellungsprozess eingesetzt werden. Es eignet sich gut zur Strukturierung von Funktionsgrößen bis zu 120 Nanometern, wodurch kleinere, komplexere integrierte Schaltkreise geschaffen werden können. Das ES6a ist für den Betrieb mit verschiedenen Wafergrößen von 4 Zoll bis 8 Zoll ausgelegt. Es verfügt über eine einzigartige, proprietäre Variable Daylight System (VDS) -Quelle, die eine konsistente Bildgebung auf einer breiten Palette von Wafern ermöglicht. Mit dem VDS entfällt auch die Notwendigkeit einer Neuausrichtung während des Betriebs, wodurch der Durchsatz und die Workflow-Effizienz maximiert werden. Das ES6a verwendet eine hochauflösende Abtasteinheit, die eine Laserfleckgröße von 3,5 Mikron verwendet, um die Bildgenauigkeit zu verbessern. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Optikmaschine, die mehrere Bildformate bietet und eine effiziente und umfassende Musterproduktion ermöglicht. Das ES6a ist mit CANON proprietären A&C Auto-Kalibrierungsprozess entworfen, um genaue Musterung und Bildgebung zu gewährleisten. Die automatischen Kalibriersysteme ermöglichen schnellere Rüstzeiten und verbesserte Zuverlässigkeit bei Musterbearbeitungen. Der Stepper verfügt auch über ein fortschrittliches Wafer-Informationswerkzeug, das Prozessparameter wie Bühnenposition und Belichtungsintensität überwacht und eine einfache Bedienung gewährleistet. Das ES6a ist mit einer leistungsstarken und benutzerfreundlichen Verriegelung ausgestattet, die versehentliche Schäden an Wafern verhindert. Es verfügt auch über eine erweiterte Zuordnung auf Waferebene, um eine genaue Musterplatzierung und ein Positionserkennungsmodell sicherzustellen, das eine wiederholbare Musterplatzierung gewährleistet. Der ES6a ist ein idealer Wafer-Stepper für Produktionsvorgänge, die Genauigkeit und Durchsatz erfordern. Es ist in der Lage, qualitativ hochwertige Bilder und Muster mit Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu produzieren. Seine zahlreichen erweiterten Funktionen ermöglichen es, die Effizienz und Produktivität zu maximieren und gleichzeitig die Kosten zu minimieren.
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