Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9281803 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6a ist ein hochpräziser, leistungsstarker Wafer-Stepper, der in der Lage ist, nanoskalige Präzisionsmuster in hohem Maße zu wiederholen. Es ist besonders wertvoll in der Halbleiterindustrie, da es extrem feine Muster mit einer hohen Genauigkeit und Wiederholbarkeit erzeugen kann. Die ES6a nutzt die Ultrakurzpuls (USP) -Lasertechnologie, um Muster bis zu 16nm Intervallen zu erzeugen. Es verwendet auch eine Reihe von fortschrittlichen Lithographietechniken für Geräte mit höherer Auflösung. Das PAT-TM Alignment Equipment ermöglicht eine genaue Ausrichtung während der Belichtung und ermöglicht eine möglichst präzise Strukturierung. Das bewährte und zuverlässige oszillierende Stufenantriebssystem bewegt den Wafer präzise und sehr wiederholbar. Es ist auch mit CANON patentiertem 'Compact-Step' ausgestattet, was den Zeitaufwand zwischen den Belichtungsschrittoperationen reduziert. Die Abbildungseinheit verwendet einen Stepper, der eine Reihe von Abbildungsformaten sowie Kantenpositionierungsimpulse unterstützen kann. Die Position und das Vorhandensein isolierter Partikel wird mit einer Vielzahl von Sensoren schnell überprüft und die Dimensionierung der Partikel mit einer hochempfindlichen Abbildungsmaschine durchgeführt. Die Zusatzoptik kann zur Echtzeitüberwachung des gesamten Betriebs verwendet werden. Der ES6a ist ein hocheffizienter Wafer-Stepper mit einer schwimmenden Quarz/Keramikkammer mit eingebauter Gassteuerung sowie einem Low-Profile-Spannfutter. Diese Eigenschaften ermöglichen eine stabile Strukturierung für eine optimale Wiederholbarkeit der Linienbreite, einen höheren Durchsatz und eine bessere Gesamtqualität. Darüber hinaus stellt der proprietäre Super- Light™ Laser Fluorescence Monitor (SLF) sicher, dass genaue Wafer-Fokussierung und Muster-Overlay-Defekte alle unter Kontrolle sind. Dieser Monitor ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Defekten wie Aggregation von lichtempfindlichen Materialien zu erkennen. Das ES6a ist ein gut abgerundeter Wafer-Stepper, der in der Lage ist, sehr wiederholbare, extrem feine und genaue nanoskalige Muster zu erzeugen. Es ist ein wichtiges Werkzeug in der Halbleiterindustrie, das in der Lage ist, den Produktionsdurchsatz zuverlässig zu erhöhen und gleichzeitig eine hervorragende Qualität zu erhalten.