Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9293799 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6a Wafer Stepper ist ein hochmodernes ultraviolettes Lithographiesystem zur Herstellung integrierter Schaltungen (ICs). Die Maschine kombiniert fortschrittliche Laseroptiken, eine hochpräzise 6-Achsen-Stufe und einen automatisierten Kassettentransport, um den Durchsatz zu erhöhen und die Waferbearbeitungszeit zu reduzieren. Die Maschine ist in der Lage, Merkmale bis zu 15 Nanometer zu produzieren und eignet sich gut für die Herstellung von integrierten hochdichten Schaltungen, Speichergeräten und optoelektronischen Komponenten. CANON FPA 6000ES6A verfügt über einen 193nm ArF-Laser als Anregungsquelle und ermöglicht eine wesentlich höhere Auflösung als die KrF-Lithographie, die der Industriestandard ist. Der Laser wird mit einem hochpräzisen optischen Kollimator und einer 6-achsigen Spiegellenkung fokussiert und gerichtet, die in der Lage ist, den Strahl innerhalb der Nanometerspezifikation genau zu positionieren. Die Bühne verfügt über einen integrierten hochauflösenden Laserscanner, der es ermöglicht, den Wafer vor der Belichtung genau an den richtigen Ort zu setzen. Die Maschine ist zudem mit einem automatisierten Kassettentransportsystem ausgestattet, das ein schnelles Be- und Entladen von Wafern in das System ermöglicht. Dadurch können in jedem Zyklus mehrere Wafer verarbeitet werden, was zu einer signifikanten Erhöhung des Durchsatzes führt. Des weiteren ist der Übertragungsmechanismus mit einem Wafer-Flipper ausgestattet, der es ermöglicht, Wafer schnell von der Kassette auf die Bühne und wieder zurück zu übertragen. Insgesamt ist FPA-6000ES6A Wafer Stepper ein effektives und zuverlässiges Werkzeug für die Halbleiterverarbeitung. Die Kombination aus fortschrittlicher Laseroptik, 6-Achsen-Bühne und automatisiertem Kassettentransport verleiht ihm außergewöhnliche Waferbearbeitungsmöglichkeiten. Es eignet sich gut für die Herstellung komplexer, hochdichter ICs und Speicherbauelemente und ist damit ein unschätzbares Werkzeug in der modernen Halbleiterindustrie.