Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9296967 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ES6a ist ein hochpräziser Wafer-Stepper zur lithographischen und photomasken Mustererzeugung für Halbleiterbauelementprozesse. Der Stepper ist in der Lage, komplizierte Funktionen mit hoher Dichte bis zu 0,11µm mit Auflösungen bis zu 2.040 Pixel/Zoll (80.000 Pixel/cm2) auf Wafern mit fünf Zoll (127mm) und acht Zoll (203mm) Durchmesser abzubilden. Es ist auch in der Lage, die kleinsten Geräte-Feature-Größen von 0,07 µm für fortgeschrittene sehr große integrierte (VLSI) Geräte zu erzeugen. Der Stepper besteht aus hochwertigen Materialien, die für höchste Präzision und Zuverlässigkeit ausgelegt sind. CANON FPA 6000ES6A verfügt über eine vollautomatische Ausrichtung Ausrüstung, um genaue Wafer Positionierung und Verzerrung Kontrolle sicherzustellen, um volle Feldebene bei der Abbildung größerer Wafer Felder zu erhalten. Mit dem Laser-Interferometer-Feature misst der Stepper genau die Position aller kritischen Komponenten, um die Bildgenauigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus arbeitet das fortschrittliche Bildverarbeitungssystem der Maschine mit variabler Geschwindigkeit mit Genauigkeit auf Submikronebene und kann die anspruchsvollsten Funktionen wie schmale Linien oder dichte Muster abbilden. Die Maschine ist mit einer hochauflösenden ELW-Optik ausgestattet, die eine gleichmäßige Beleuchtung über den gesamten Wafer mit 5 Zoll und 8 Zoll Durchmesser ermöglicht. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine Antireflexbeschichtung, die unerwünschte Effekte auf das Bild aufgrund von Lichtstörungen verhindert und gleichzeitig einen hervorragenden Bildkontrast bietet. Für die dynamische Bildgebung setzt der Stepper auf dreidimensionale (3D) Scantechnologie, die bis zu 1000 Mal höhere Treue und Auflösung für eine verbesserte Bildqualität bietet. Die Betriebsumgebung verfügt zudem über einen optimierten Temperatur- und Feuchtigkeitsbereich für eine verbesserte Bildgebungsfähigkeit sowie eine Schwingungsisolationsmaschine, die die Maschine während des Betriebs stabil halten soll. FPA-6000ES6A verfügt über eine einstellbare Stufe für maskenlose Lithographie und optische Näherungskorrekturoperationen mit überlegener Bildqualität. Darüber hinaus verwendet der Stepper bis zu fünf Beleuchtungsmodi, um die am besten geeigneten Abbildungsprofile für verschiedene Lithographieanwendungen bereitzustellen. Darüber hinaus ist die Maschine für die Verbindung mit einem Hostcomputer über eine Ethernet-Verbindung für grundlegende Operationen und eine dedizierte Bedienfeldschnittstelle für erweiterte Einstellungen konzipiert.