Gebraucht CANON FPA 6000 ES6a #9384057 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
FPA 6000 ES6a
ID: 9384057
KrF Scanner, 12" 90 nm.
CANON FPA 6000 ES6a ist eine Wafer-Schrittmaschine für den Einsatz in der Halbleiterindustrie. Diese Maschine bietet ein kostengünstiges Mittel zur Herstellung von Wafern mit hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit bei der Herstellung integrierter Schaltungen. Die Maschine verwendet ein fortschrittliches elektrostatisches Lithographiesystem, mit dem sie eine Photolithographie mit sehr feiner Auflösung durchführen und kritische Schrittfehler verringern kann. CANON FPA 6000ES6A ermöglicht die Herstellung jedes Designs mit einem extrem breiten Sichtfeld, da es mit einem 200mm Flachbett-Aligner und einer antireflexbeschichteten Objektivlinse ausgestattet ist. Dies ermöglicht der Maschine ein besseres und präziseres Sichtfeld als herkömmliche Stepper. Die Maschine kann mit doppelseitiger Ausrichtgenauigkeit arbeiten, was für photolithographische Prozesse mit einem IC-Chip notwendig ist. Es verfügt auch über ein integriertes zweikanaliges kontinuierliches Ausrichtsystem, das eine stabile und genaue Waferausrichtung sowohl auf Stahl- als auch auf Keramikträgern gewährleistet. FPA-6000ES6A verfügt über eine Schrittsteuerung mit manuellen und halbautomatischen Betriebsarten. Die Maschine kann mit einem SPS oder Computerprogramm betrieben und mit Industrierobotern und anderen Produktionsanlagen für ein vollautomatisiertes Produktionssystem integriert werden. Die Maschine verfügt über eine erweiterte Vakuumfähigkeit und bietet einen niedrigen Tischdruck, der überlegene Lithographieergebnisse liefert. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer speziellen automatischen Reinigungseinheit ausgestattet, die die Möglichkeit einer Kontamination reduziert. FPA 6000 ES 6 A kann in Kombination mit verschiedenen Schrittmeßsystemen verwendet werden, um genaue und wiederholbare Ergebnisse in den anspruchsvollsten Anwendungen zu erzielen. Ein intuitiver Joystick-Controller mit grafischem Display macht komplexe Prozeduren überflüssig und ermöglicht eine einfache Steuerung der Maschine. FPA 6000ES6A bietet auch eine Auswahl von drei Reduktionstypen, nämlich halbe Reduktion, Quartalsreduktion und achte Reduktion. Diese Vielfalt ermöglicht eine breite Palette von Lithographie-Anwendungen, einschließlich Mikromaschinen und Nanofabrikation. Insgesamt ist CANON FPA 6000 ES 6 A ein genauer, zuverlässiger und kostengünstiger Waferstepper, der eine überlegene Leistung und hohe Betriebseffizienz bietet. Mit seiner automatischen Reinigungseinheit, fortschrittlicher Vakuumfähigkeit, drei Reduktionstypen und einem intuitiven Joystick-Controller verfügt diese Maschine über alle Funktionen, die für erfolgreiche Photolithographie-Prozesse erforderlich sind.
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