Gebraucht CANON FPA 6000 #293587902 zu verkaufen

CANON FPA 6000 ist ein fortschrittliches Wafer-Schrittgerät mit einer hochauflösenden optischen Lithographieausrüstung. Diese Vorrichtung ist für die Halbleiterherstellung ausgelegt und kann auf einer Vielzahl von Wafersubstraten hochgenaue Muster erzeugen. FPA 6000 bietet eine gezielte Lichtstrahlleistung von entweder 193 oder 248 nm Wellenlänge und variable Laserleistung bis zu 16W. Dies ermöglicht den Einsatz in einer Vielzahl von Lithographieprojekten und die Erstellung unterschiedlicher Muster mit einem spektral korrigierten Linsensystem. Das Gerät ist mit der neuesten digitalen Bildverarbeitungstechnologie ausgestattet, die die Genauigkeit der Lithographie verbessert, und es kann die kleinsten bekannten Bilder genau und präzise auf eine Vielzahl von Oberflächen, einschließlich Halbleiterscheiben, reproduzieren. Die integrierte Bildverarbeitung ermöglicht die Optimierung und genaue Platzierung der kleinsten Mustermerkmale wie Linie und Raum, Kontakt, über Löcher und mehr. CANON FPA 6000 ist mit einer zweistufigen automatischen Ausrichteinheit ausgestattet, die es ermöglicht, die gewünschte Waferposition für jede Belichtung genau zu halten. Darüber hinaus kann FPA 6000 auch für koaxiale Lithographie verwendet werden und verfügt über eine Vielzahl von erweiterten Funktionen wie 1X und 7X Vergrößerungsvarianten, Auto-Zoom und Auto-Shift. Das Gerät ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Belichtungstechniken und Impulsen, einschließlich Multi-Pulsing und Doppelbelichtung, die verwendet werden können, um effektiv und genau Muster Formen, Größen und Tiefen zu steuern. Darüber hinaus verfügt das Gerät über ein hochzuverlässiges und ausgefeiltes Mikroskop sowie einen dreidimensionalen Ausrichtungsscanner. Dies hilft sicherzustellen, dass die Muster auf einem Wafer mit einer maximalen Genauigkeit von 0,5 Mikrometern ausgerichtet sind, mit einer Wiederholfrequenz von weniger als 3 Mikrometer in der Wafer-Positionierung. CANON FPA 6000 kann auch für die Spin-Beschichtung, Entwicklung und Nachbearbeitung verwendet werden. Dazu gehören Galvanisieren, chemisches Ätzen und Nass- oder Trockenmustern verschiedener Materialien. Insgesamt ist FPA 6000 ein hochgenaues, zuverlässiges und anspruchsvolles Wafer-Stepper-Gerät, das optimierte und präzise Ergebnisse liefert. Seine erweiterten Funktionen, hochgenaue Bildverarbeitungsmaschine, Auto-Ausrichtungsfähigkeit und mehrere Belichtungseinstellungen machen es vielseitig und bequem für eine Reihe von Projekten.