Gebraucht CANON i4 #293827042 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
i4
ID: 293827042
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Stepper, 8" Process: Patterning Cassette BCR Reticle BCR Reticle changer, 6" Wafer chuck pin, 8" Left hand feed wafer feeder Reticle changer: Standard No PPC No RPC 1996 vintage.
CANON i4 ist ein Schritt-und-Wiederholort-Scanner, der eine Wafer-Stepper-Technologie verwendet, um schnell mehrere Kopien von mikroelektronischen Geräten auf einem einzigen Wafer zu produzieren. Es wird für zahlreiche Anwendungen wie Photolithographie, Mikromachination, Kontaktmaskierung und andere Präzisions-Photolithographie-Verfahren verwendet. CANON I 4 ist vollautomatisch und kann Wafer bis zu 4 Zoll groß handhaben. Es ist mit einer hellen Weißlicht-Beleuchtungsquelle ausgestattet und hat eine Auflösungsgenauigkeit von Submikronebenen. Der Stepper ermöglicht eine einfache Programmierung der Geräte mit PC-kompatibler Software für die automatisierte Belichtungssteuerung. Das zweiachsige Koordinatensystem ermöglicht eine genaue und wiederholbare Positionierung jeder Kopie. Der Stepper besteht aus einem einzigartig gestalteten metallischen Sockel und einer Doppelsäulenstruktur für maximale Stabilität. Es bietet eine hochwertige Optik zur Präzisionsausrichtung und Belichtung der Gerätemuster. Das Gerät ist auch mit einer zwei Zoll dicken Kollimationslinse, einem automatischen Fokussierungsmechanismus und einer Filtermaschine ausgestattet, die die Möglichkeit einer ultravioletten Strahlenbelastung während des Scan- und Belichtungsprozesses eliminiert. I4 ist ferner mit einem hochgenauen Gate-Array ausgestattet, in dem jedes der 32 Gatter individuell programmiert werden kann. Dadurch kann der Stepper jede Stufe mit einer präzisen Genauigkeit und einer Standardgenauigkeit ± 1% herstellen. Der Stepper ist zudem mit einem „Echtzeit“ -optischen Überwachungswerkzeug eingebettet, das die Genauigkeit der Scan- und Belichtungsprozesse kontinuierlich bewertet. Dadurch wird sichergestellt, dass jeder Schritt eine möglichst hohe Präzision erzeugt und die Umgebung die Genauigkeit des Prozesses nicht beeinträchtigt. I 4 wird durch eine fünfjährige Garantie unterstützt und ist für den Betrieb in einer Umgebung ohne Leckage ausgelegt. CANON i4 hat eine skalierbare modularisierte Konstruktion, so dass es einfach ist, sich anzupassen und nach Bedarf zu aktualisieren. CANON bietet sogar Schulungen vor Ort sowie komplette Reparatur- und Wartungsdienstleistungen für die Anlage an.
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