Gebraucht CANON M31016 #9409288 zu verkaufen

Hersteller
CANON
Modell
M31016
ID: 9409288
Microfilm scanner Power supply: 120 V, 60 Hz, 3.1 A.
CANON M31016 ist ein Top-Level-Wafer-Stepper, der häufig im Halbleiterherstellungsprozess verwendet wird. Es ist ein fortschrittliches, historisches System, das Vorteile sowohl von Step-and-Scan-Systemen als auch von herkömmlichen Step-and-Repeat-Systemen kombiniert. M31016 ist mit einer leistungsstarken Wyko-Antireflexbeschichtungsstufe ausgestattet, die Photomaske und Waferreflektivität für verbesserte Bildqualität reduziert. Dank seines verbesserten Illuminatordesigns ermöglicht seine Präzisionspunkt-Positionierungstechnologie eine Entschlossenheit von 6 nm und Genauigkeit von 0,1 µm. Mit seiner 5-Achsen-Bühne sorgt er für ein größeres Sichtfeld. Sein externer Scanner bietet zusätzliche Bewegungssteuerung mit einer Genauigkeit von bis zu 0,001 mm, so dass CANON M31016 Wafer leichter als 8 Zoll handhaben kann. M31016 ist auch in der Lage, dünne Wafer von bis zu 0,25 mm mit einer Genauigkeit von 0,02 µm zu verarbeiten. Es bietet High-End-Belichtungszeiten bis 135 ms und seine ausgezeichnete Auflösung von 1,2 nm macht es ideal für Anwendungen wie Photomaskendruck und Reverse Engineering. Seine ausgeklügelte Fehlerverhinderungsarchitektur gewährleistet wiederholbare, hochpräzise Ergebnisse von Zeit zu Zeit, gesichert durch sein fortschrittliches Videoprüfsystem, das Echtzeit-Feedback zum Werkzeugbetrieb liefert. CANON M31016 umfasst umfassende Wartungs- und Kalibrierungsprogramme, mit denen Anwender die Werkzeugleistung verbessern und Systemausfallzeiten reduzieren können. Ein effizienter Monitoring-Algorithmus für OPC (modellbasierte Prozesskorrektur) sorgt für Verbesserungen im Lithografie-Hotspot-Kontrast und verbessert die OPC-Präzision durch schnelle Konvergenz zur Steigerung der Produktivität. Mit seinen hervorragenden Automatisierungsfunktionen ist M31016 in der Lage, den Personaleinsatz erheblich zu reduzieren, was eine höhere Produktivität bei weniger Ressourcen ermöglicht. CANON M31016 enthält auch eine einzigartige geometrisch deklarierte Site Feature (GDSF) -Software, die dazu beiträgt, Fehler bei der Fehlausrichtung zu reduzieren und die Ausrichtungsgenauigkeit beizubehalten. Ein spezialisiertes Datenanalyse-Tool, der 5D Architect, ist ebenfalls enthalten, das es Anwendern ermöglicht, detaillierte Datenvisualisierung im GDSF-Format zu erhalten und den gesamten Produktionsprozess zu optimieren. Abschließend ist M31016 ein Top-Level Wafer Stepper ideal für die Halbleiterherstellung. Seine fortschrittlichen Funktionen sorgen für hochpräzise Ergebnisse mit minimalem Personaleinsatz und machen es zu einem leistungsstarken und effizienten Werkzeug.
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