Gebraucht ELECTROMASK / TRE 10X #9041056 zu verkaufen

ELECTROMASK/TRE 10X ist ein Wafer-Stepper, der entwickelt wurde, um hochauflösende digitale Bilder für die Herstellung von Halbleiterbauelementen zu erzeugen. Diese Art von Lithographiegeräten arbeitet mit einer Lichtquelle, um ein Bild auf einen mit Photoresist beladenen Wafer zu projizieren. Die Lichtquelle besteht typischerweise aus einer Laser- oder Leuchtdiode (LED). Die Maske, die die Bildinformationen enthält, wird in einem Halter platziert und auf die Waferstufe ausgerichtet. Wenn das Bild auf den Wafer projiziert wird, wird es dem Fotolack ausgesetzt. Anschließend wird der Photolack entwickelt und das Bild auf den Wafer übertragen. TRE 10X basiert auf einem fortschrittlichen Design mit einer Bewegungsauflösung von 0,28 μ m (Mikrometer) für die X- und Y-Achse. Die Waferstufe wird von Linearmotoren angetrieben und hat eine maximale Tragfähigkeit von 250 mm. Das System ist so konzipiert, dass es mit einer maximalen Frequenz von 120kHz arbeitet und eine schnelle Verarbeitung der Photomasken ermöglicht und gleichzeitig eine hohe Genauigkeit der gedruckten Muster gewährleistet. Diese Einheit bietet ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Genauigkeit bei der Übertragung von Bildern auf den Wafer. ELEKTROMASK 10X ist mit einer innovativen optischen Ausrichtmaschine (OAS) zur präzisen Ausrichtung der Maske oder des Retikels auf den Wafer ausgestattet. Dieses Tool verwendet einen optischen Sensor, der Bilder des Wafers und der Maske erfasst und anschließend in einem Computer rekonstruiert. Dieser Sensor ist auch entworfen, um jegliches Kratzen oder Kratzen auf der Maske oder dem Wafer vor der Exposition zu erkennen, um die Risiken innerhalb des Lithographieprozesses zu minimieren. Darüber hinaus ist 10X auch mit verschiedenen Druckmodi wie Einzelbelichtung, Überlappungsbelichtungen und Schattenbelichtung ausgelegt. Durch eine breite Palette von Belichtungsmustern ist dieser Wafer-Stepper in der Lage, Benutzern die Möglichkeit zu bieten, ihre Musterdesigns anzupassen, um verschiedene spezifische Anforderungen zu erfüllen. Das Asset bietet auch einen Multizonen-Belichtungskopf, der für große Chipgrößen und ein erweitertes Sichtfeld ausgelegt ist. ELEKTROMASK/TRE 10X ist auch mit einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet. Die Monitoranzeige ist mit verschiedenen Steuerungsfunktionen integriert, einschließlich Musterkorrektur, Überprüfung der Existenz von Bildern, erneutes Messen und Überwachen, Eingabe von Vergrößerungsdaten, Analyse von Bildern unter anderen Funktionen. Dieses Modell ermöglicht es Benutzern auch, je nach dem zu erledigenden Lithographieprozess geeignete Wafergrößen, Betttypen, Maskenmuster und Belichtungsparameter auszuwählen. Dieser Wafer-Stepper eignet sich gut für Menschen, die Mikroprozessoren, integrierte Schaltungen und andere Halbleiterbauelemente entwickeln. Seine hohe Auflösung und Genauigkeit machen es zur perfekten Wahl für die Herstellung von High-End-Halbleiterbauelementen. Darüber hinaus ermöglicht seine effiziente und intuitive Benutzeroberfläche es Benutzern, ihre Musterdesigns mit minimalem Aufwand zu vervollständigen.