Gebraucht ELECTROMASK / TRE 5X #9041055 zu verkaufen

ELECTROMASK/TRE 5X ist ein modernster Waferstepper der japanischen Firma Nikon für die Photolithographie oder die Übertragung von Mustern auf eine Resistschicht auf einem Wafer. Dieses Gerät umfasst eine Hauptlinse, eine Retikelstufe und eine Projektionsoptik, die in der Lage ist, Muster mit einer Mindestgröße von 1,4 µm auf einen 200 mm Wafer zu übertragen. Der erste Schritt der Photolithographie ist die Ausrichtung der Retikelstufe, die mit einem optischen Vergrößerungsmikroskop TRE 5X durchgeführt wird. Sobald das Retikel in Position ist, kann die Hauptlinse auf den zu bearbeitenden Wafer fokussiert werden. Die im System verwendete Hauptlinse besteht aus vier Linsen, zwei davon mit einer hohen numerischen Apertur von 0,46 und zwei Achromaten, die die Abberation an größeren Öffnungen korrigieren. Die Auflösungsgrenzen der Einheit betragen 0,25 Mikrometer auf einem Wafer mit 5% Gleichmäßigkeit der Beleuchtung. Die Projektionsoptik in der Maschine, die die Daten aus dem Retikel liest, ist ein vierfaches 4X optisches Vergrößerungsmikroskop mit einer numerischen Apertur von 0,25 und einer Musterübertragungspunktgröße von 0,5 µm. Die Ausrichtung der Projektionsoptik erfolgt unter Verwendung einer telezentrischen Ausrichtung, die den Vergrößerungsfehler automatisch kompensiert. Ein Signal vom Retikel wird von einem Sensor aufgenommen und zur Einstellung und Überwachung der telezentrischen Ausrichtung verwendet. Die Wafer-Stufe des Werkzeugs ist in der Lage, Submikron-Genauigkeit aufgrund seiner Positionserkennung Asset zu erreichen, die eine CCD-Kamera und eine Präzisionsstrahlteiler verwendet. Durch die Kombination dieses Modells mit einer Brennebene wird die Position des Wafers genau gemessen und gleichzeitig ein hochpräziser Stufenbetrieb ermöglicht. ELEKTROMASK 5X ist auch mit Schutzmodulen und Rückkopplungssteuerungssystemen ausgestattet, um die Sicherheit und Genauigkeit der Ausrüstung zu gewährleisten. Dieses System umfasst auch eine automatische Ladeeinheit, die eine effiziente und vollständige Waferbearbeitung ermöglicht. Die Maschine ist auch in der Lage, mehrere Wafertypen auf einmal zu verarbeiten. Insgesamt ist 5X ein hoch fortgeschrittener und anspruchsvoller Wafer-Stepper, der eine hohe Präzision und Genauigkeit im Photolithographie-Prozess bietet. Das Tool ist ideal für den Einsatz in Bereichen wie der Herstellung integrierter Schaltungen, der Medizintechnik und der Datenspeicherung.