Gebraucht GCA 6300 #131412 zu verkaufen

GCA 6300 ist ein modernes Wafer-Stepper-Equipment der GCA Corporation. Es ist ein Hochgeschwindigkeits-Lithographie-Tool mit hoher Genauigkeit, das die neueste Projektionsbildtechnologie verwendet. Es ist in der Lage, Schaltungsmuster, die durch Photomaske definiert sind, auf die Oberfläche von Substratmaterialien wie Halbleiterscheibe, optoelektronischen Materialien und Flachbildschirmen zu übertragen. 6300 ist ein einzigartiges Wafer-Schrittsystem aufgrund seiner ultrahohen Auflösung, die durch die numerische Apertur (NA) der Kondensatorlinsen bestimmt wird. Dadurch können bis zu 0,5 μ m Musterelementgröße erzeugt werden. Es ist auch entworfen, um Verzerrungen zu minimieren, so dass Submikron-Variationen der Mustergröße und Ausrichtung während des bildgebenden Prozesses. Diese Präzision wird mit der Scanstufe GCA 6300 erreicht, die hochauflösende lineare Encoder verwendet, die gekoppelt sind, um die Bewegung der Bühne zu steuern. Das Gerät hat eine beeindruckende maximale Durchsatzrate von 31 Wafern/Stunde bei einer durchschnittlichen Größe von 6 ". Darüber hinaus verfügt 6300 über ein fortschrittliches Scanner-Subsystem, das bis zu zwei fotografische Dias oder Fotomaskenfilm gleichzeitig verarbeiten kann. Dadurch kann der Bediener auch auf demselben Wafer schnell zwischen verschiedenen Mustern wechseln. GCA 6300 ist ebenfalls vollautomatisiert, was die Bedienung des Benutzers erheblich vereinfacht. Setup, Bildgebung, Ausrichtung, Fokussteuerung und Maschinenüberwachung können alle über computergesteuerte Präzisionsmikromotoren erfolgen. Dieses Tool bietet reichlich Flexibilität und Effizienz für Lithographie-Operationen. In Bezug auf Sicherheit und Wartung verfügt 6300 über eine Reihe von Funktionen, um jederzeit Sicherheit zu gewährleisten. Seine integrierten Sicherheitsverriegelungen minimieren das Risiko einer Kreuzkontamination, während ein dreistufiger Kurbelmechanismus verhindert, dass das Gut durch häufige Bewegungen ermüdet. Zusätzlich ist eine Vakuum-Entgasungskammer für eine verbesserte Bildauflösung eingebaut. Insgesamt ist der GCA 6300 Wafer Stepper ein Hochleistungs-Imaging-Tool, das hervorragende Ergebnisse für eine breite Palette von Substraten erzielt. Es bietet ultra-hohe Auflösung, überlegenen Durchsatz und automatisierten Betrieb.