Gebraucht GCA 6300C #9181535 zu verkaufen

GCA 6300C ist ein Wafer Stepper, eine Art Lithographiewerkzeug, das in der Halbleiterherstellung verwendet wird. Es handelt sich um eine hochpräzise Vorrichtung, die üblicherweise verwendet wird, um ein Muster aus einer Maske auf einen Wafer oder Substrat zu übertragen. 6300C ist in der Lage, die Photolithographie in 6 ", 8" und 12 "Wafergrößen zu wiederholen. Die Objektivausstattung von GCA 6300C wird von einem Thorium-Fluorid-Design angetrieben, das eine hervorragende Auflösung und wiederholbare Leistung ermöglicht. Das Objektiv wird von einer geschlossenen CCD-Kamera am Revolver betrieben. Dies ermöglicht hohe Vergrößerungen und aktive Ausrichtungsmöglichkeiten. Die CCD-Kamera wird auch verwendet, um Ausrichtungsfehler zu erkennen und die Position des Wafers des Bedieners zu optimieren. Der Stepper ist mit einer Computereinheit verbunden, die es dem Benutzer ermöglicht, die Maschine mit den gewünschten Einstellungen zu programmieren. Der Benutzer kann die gewünschte Vergrößerung, Fokus, Substrattemperatur und Verschlusszeit eingeben. Das Werkzeug enthält auch einen Wellenfrontsensor, der die Aberration eines Objektivs für eine optimale Qualität des Transferbildes misst. 6300C ist eine ausgezeichnete Auswahl für hochauflösende, schnelllaufende Steindruckverfahrenanwendungen. Es hat einen maximalen Durchsatz von 1 20.000 Wafern pro Tag und kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 12 "handhaben. Das Modell arbeitet mit einer Wellenlänge von 248nm und kann Musterauflösungen bis zu 0,3 Mikrometer erreichen. Die Ausrüstung kann auch Funktionsgrößen bis zu 0,2 Mikrometer erreichen, mit ausgezeichneter Rauhigkeit an der Kante. GCA 6300C ist auch für wartungsarmen Betrieb ausgelegt. Die Konstruktionselemente sind so konzipiert, dass sie die Betriebszeit erhöhen und die Zeit für die komplette Ausrichtung verkürzen. Der Stepper ist auch mit Standardzubehör wie Fokusbewegungen, Retikelwechslern und Lade-/Entladesystemen kompatibel. Es ist auch konvektionsunterstützte Ätzprozesse und ist für strenge Reinraumanforderungen ausgelegt. 6300C ist eine ausgezeichnete Option für alle, die eine überlegene Auflösung, Geschwindigkeit, Wiederholbarkeit und Wartungsarme in einem Lithographiesystem benötigen.