Gebraucht GCA 6800 #182892 zu verkaufen
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ID: 182892
G-line Stepper
Manual load of reticle
Paddle wafer loader
6" x 6" X/Y stage motions
Stage controlled motions with data input of 0.1μ in metric mode
Stage precision of +/- 0.15μ
Stage orthogonality ( software correctable) of +/- 0.5 arc sec
Die rotation of +/- 0.2μ over 11mm
Lens reduction of +/- 0.2μ over 11 mm
Trapezoidal error of +/- 0.2μ over 11mm
System is fitted with a Tropel 2035 5X g-line (436) lens with a .35NA and a 20mm dia. field.
Lens spec. for this lens is 1.0 microns on ultra-flat wafers, but can be pushed lower
Mercury light source will have a Maximus 1000 power supply and illuminator corrected for 436 nm (g-line)
Auto focus in Z axis
All electronic cards will be upgraded to latest available revisions
Reticle loading will be manual type and will use a 5x5 inch reticle
Wafer Handling will be done using a paddle system with paddles for 100 mm dia. wafers and pieces
Wafer alignment (global) will be upgraded to a CCD camera
Global objective spacing will be set for 76.2 mm separation
Global Alignment system Registration of +/- 0.35μm
The system uses a DEC PDP-11 computer
An environmental water cooled chamber to be supplied with the uni
Chamber power will be set for 208 volts, 60 Hz, 3 phase 30 amps, and the Electronic rack is 110volts, 60Hz, 30 amps.
GCA 6800 ist ein Wafer-Stepper, der in der Lage ist, hochwertige Mikrolithographiebilder zu erzeugen. Dies ist ein fortschrittliches Werkzeug zur Herstellung integrierter Halbleiterschaltungsbauelemente, das eine großflächige Bildgebung mit kleinen Merkmalsgrößen bietet. 6800 basiert auf den gleichen Prinzipien wie andere Stepper-Scanner, aber sein Design enthält viele Verbesserungen. GCA 6800 beherbergt vier unabhängige Laserstrahler mit drei elektrischen Spiegeln, die ihre Strahlaufteilung für reife Leistungen steuern. Sein Autofokus-System wurde entwickelt, um genaue Bildgebungs- und schnelle Scanzyklen zu gewährleisten. Der Stepper ist in der Lage, feine Breiten von 100 nm und darunter zu produzieren, mit einer maximalen Mustergröße von 400x400 mm. Die Waferstufe ist in zwei Richtungen bewegbar, mit 8 isolierten Antriebs- und Bewegungssteuerungssystemen. Der Stepper ist auch mit zwei Vollfeldkameras ausgestattet, die durch seine' adaptive Rückkopplungsoptik 'Tracking und Bildgebung ermöglichen. Dieser Stepper verfügt zudem über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, die eine hohe Zuverlässigkeit und einen optimalen Schutz vor Fehlbearbeitung bieten. Dazu gehören unter anderem eine Röntgensperre, die den Zugriff auf Laserstrahlung verhindert, und ein genaues Laserverriegelungssystem, das unbefugten Betrieb vermeidet. Darüber hinaus ist 6800 mit dedizierter Software ausgestattet, um die Bedienungsanweisungen zu vereinfachen, sodass der Benutzer Parameter einstellen und Prozessabschlussberichte empfangen kann. GCA 6800 ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Chipproduktion, das eine hohe Auflösung, genaue Bildgebung und schnelles Scannen bietet. Dieser Wafer-Stepper ist ideal für die Herstellung von Halbleiterbauelementen und ist robust und sehr zuverlässig für einen sicheren und konsistenten Betrieb.
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