Gebraucht GCA 8000 #131413 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Ein GCA 8000 Wafer Stepper ist eine optische Lithographiemaschine, die bei der Herstellung von Mikroschaltungsteilen verwendet wird. Es ist ein Spitzenwerkzeug für Mikropatterning und integrierte Schaltung Photolithographie. Dieses Werkzeug wird bei der Herstellung von ultrapräzisen Mustern auf Halbleiterscheiben eingesetzt. Die Merkmale von 8000 umfassen: ein automatisiertes Retikelwechselsystem, eine 0,6 µm Ausrichtgenauigkeit, eine 7,5 nm Auflösung und eine automatische Nivellierung Waferstufe. Darüber hinaus hat es eine maximale Mustergröße von 100mm x 200mm und unterstützt Quarz-, Glas- und Siliziumsubstrate. Der Betrieb von GCA 8000 beginnt damit, dass das Gerät ein Retikel in den Stepper lädt. Das Retikel wird dann auf einen Referenzpunkt ausgerichtet. Das Gerät verwendet dann eine Reihe von miniaturisierten Linsen, um das Bild des gesamten Retikels auf den Wafer zu projizieren. Die Mini-Objektive können eingestellt werden, um den Fokus oder die Vergrößerung der Projektion zu ändern. Nach der photolithographischen Belichtung wird der Wafer in das Entwicklungssystem eingespeist. Dies ist ein naßchemischer Prozess, der zur Entfernung von Photolack führt, der dem Licht ausgesetzt ist. Das Entwicklungssystem umfasst Tanks mit einer Vielzahl von Lösungen, die zum Reinigen und Entfernen des Fotolacks verwendet werden. 8000 ist ein beeindruckendes Stück Technologie, und seine Anwendungen sind zahlreich. Es ist ein sehr zuverlässiges, fortschrittliches Werkzeug, das in einer breiten Palette von Produktionslinien verwendet wird. Es ist in der Lage, genaue, hochauflösende Muster auf Substraten mit minimalen Defekten zu erzeugen. Diese Technologie kann zur Präzisionsherstellung verschiedener Arten integrierter Schaltungen eingesetzt werden.
Es liegen noch keine Bewertungen vor