Gebraucht GCA 8000i series DSW LASERSTEP 200 #1721 zu verkaufen
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GCA 8000i Serie DSW LASERSTEP 200 Wafer Stepper ist ein Hochleistungsgerät speziell für Bild und Schritt Wafer entwickelt. Dieses System basiert auf einer Reihe von ineinandergreifenden optischen Abtastplattformen und bietet Präzisionsbewegungen von Retikeln auf einer spurgeführten Fehlausrichtungsstufe. Dies ermöglicht eine genaue und präzise Abbildung kleiner Merkmale auf den Wafer mit minimaler Verzerrung. GCA 8000i enthält ein In-situ-Verzerrungskorrektursystem, das eine Echtzeitkorrektur des Bilderfassungsprozesses bereitstellen kann. Dies gewährleistet höchste Genauigkeit in der Wafer-Bildgebung. Der Stepper ist auch mit einer zweiachsigen Kipp- und Drehstufe konfiguriert, die die präzise Abbildung von abgewinkelten KEs ermöglicht. Dies ist besonders hilfreich für Anwendungen, bei denen der Stepper niedrige oder sogar dreidimensionale Merkmale abbilden muss. Zusätzlich zur Kipp- und Drehstufe enthält GCA 8000i ein sichtbares Lichtmikroskop mit fortschrittlicher Optik, um einen hochauflösenden Blick auf den Wafer zu ermöglichen. Es enthält auch ein einstellbares integriertes Strahlaustastsystem, das eine präzise Fokussierung und Abbildung extrem kleiner Merkmale auf dem Wafer ermöglicht. Herzstück von GCA 8000i ist der optische Abbildungskopf LASERSTEP 200. Dies sorgt für die hochpräzise Waferbewegung unter Beibehaltung von Stabilität und Wiederholbarkeit. Der Kopf kann bis zu 0,5 µm mit automatischer Ausrichtung auf die Waferoberfläche abbilden. Es verfügt auch über eine Pulsbreitenmodulationslaserleiste, um eine genaue Positionierung und Stufenkontinuität zu gewährleisten. GCA 8000i ist ein ideales Werkzeug für Wafer-Fertigungs- und Forschungsanwendungen, die hochpräzise Bildgebung und Stufung erfordern. Dank seiner fortschrittlichen Optik und Waferbewegungen ist es eine ideale Wahl für Bildgebungs- und Schrittgeräte mit extrem kleinen Funktionen. Die Neigung-und-drehen Bühne bietet beispiellose Genauigkeit für die Abbildung und Schritt auf abgewinkelte KEs. Die In-situ-Verzerrungskorrektur und die integrierte Strahlausblendung sorgen für knackige Bilder auch für kleinste Merkmale auf dem Wafer. GCA 8000i DSW LASERSTEP 200 Wafer Stepper ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug für Wafer-Imaging und Stepping.
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