Gebraucht GCA ALS 2145 #9411591 zu verkaufen

Hersteller
GCA
Modell
ALS 2145
ID: 9411591
I-Line wafer stepper.
GCA ALS 2145 ist ein Mikrolithographie-Werkzeug, das im Bereich der Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt wird. Die Maschine verwendet eine patentierte hybride linearmotorische/optisch-objektive Abtastplattform, um die Projektionsoptik ihrer Ausricht- und Belichtungsgeräte genau zu positionieren. Dies macht es zu einer idealen Wahl für Anwendungen, die eine hohe Präzision beim Strukturieren von Mikrostrukturen auf ein Halbleitersubstrat erfordern. GCA ALS-2145 ist mit einer Nanometer-Stufengenauigkeit, einer Präzision von bis zu 0,2 Nanometern ausgestattet und kann Merkmale bis zu 0,5 Mikrometer mustern. Darüber hinaus wird seine Ausrichtgenauigkeit durch sein hochmodernes CCD-Kamerasystem und die Umgebungsscanner-Einheit verbessert, die für alle äußeren Einflüsse Platz finden können, ohne ihre Integrität zu beeinträchtigen. Die ALS 2145 ist aufgrund ihrer schnellen Umschaltzeit von Substrat zu Substrat ein Arbeitstierinstrument in der Industrie und somit eine zuverlässige Wahl für die Serienproduktion. Dieser Wafer-Stepper ist in der Lage, mit seiner einzigartigen bidirektionalen Maskenaustauschmaschine bis zu 8 verschiedene Retikel auf jedem Wafer zu beziehen, was zu hohen Durchsatzraten auch bei ultrahohen Auflösungen führt. Auch seine High Avoidance Werkzeug in seiner Bewegungseinheit positioniert kombiniert mit dem Austauschwerkzeug, um die gleichzeitige Beladung und Bearbeitung jedes Substrats zu ermöglichen. Darüber hinaus wurde das Asset so konzipiert, dass es einfach zu warten ist. Es weist keine beweglichen Elemente im Strahlengang auf, so daß weder eine periodische Reinigung noch eine Ausrichtung der Optik erforderlich ist. Es hat auch eine integrierte Auto-Fokussierung Option mit engen Strahl Auto-Kollimation und wenige Modulationseinstellungen, so dass es einfach zu installieren und zu kalibrieren. ALS-2145 ist ein leistungsfähiges, zuverlässiges Werkzeug, das schnell und präzise hochauflösende Blaupausen für die Produktion der neuesten und größten integrierten Schaltungen der Welt produzieren kann. Mit ihrem hohen Durchsatz und ihrer Genauigkeit wird diese Maschine auch in den kommenden Jahren die stetig wachsenden Anforderungen der Halbleiterindustrie unterstützen.
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