Gebraucht GCA ALS #35132 zu verkaufen
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ID: 35132
Wafergröße: 6"
Stepper, G-line (Ziess 10-78-46), 5X reduction, .38NA, .9um resolution, configured for 6" wafers and can be changed to any size, running and ready for demo.
GCA ALS (Application Light Source) ist ein Waferstepper, der für die Photolithographie verwendet wird. Es bietet hochpräzise optische Bildgebung und Musterausrichtung für die Herstellung von Halbleiterscheiben und anderen verwandten Materialien. ALS ist mit einem 8-Kanal-LED-System mit bis zu 6.000nm Beleuchtung von Original-Photomasken und bis zu 10.000nm Bildauflösung ausgestattet. GCA ALS verwendet ein modernes optisches Transportsystem, das eine genaue Ausrichtung des Lichts von der Photomaske auf die Waferoberfläche gewährleistet. Dies geschieht, um sicherzustellen, dass die bildgebenden Ergebnisse genau und fehlerfrei sind. ALS ist zudem mit einer speziellen Laserenergiequelle zur Ablation von Nichtmetall- und Nichtoxid-Maskierungsschichten ausgestattet. Insgesamt ist GCA ALS in der Lage, eine Vielzahl von Musterprozessen im Zusammenhang mit der Herstellung von Halbleitermaterialien zu erstellen. Mit einer ALS-Maschine sind fortschrittliche Funktionen wie hochauflösende Bildgebung und erweiterte Maskenausrichtung erreichbar. Die Maschine ist auch mit einem mehrlagigen Stapelwafer-Handhabungssystem ausgestattet, das dem Benutzer eine vollständige Palette von Optionen zur Staub- und Fehlerbeseitigung bietet. Für verbesserten Durchsatz und Genauigkeit ist GCA ALS mit einem echten Micro-Stepper-Scanning-Mechanismus ausgestattet, der präzise optimierte Aktionen innerhalb eines einzigen Belichtungsfeldes ermöglicht. Darüber hinaus ist ALS dank der eingebetteten Lasermarkierungstechnologie in der Lage, sowohl Positions- als auch fokussierte Schichten in Echtzeit zu erkennen und zu korrigieren. GCA ALS unterstützt auch die Einführung von Prozessrezepten für alle Phasen der Herstellung von integrierten Schaltungen (IC), wodurch Anwender optimierte Prozesse für eine Vielzahl von Anwendungen entwickeln können. Die Maschine ist in der Lage, den höchsten Durchsatz und die Genauigkeit zur Verfügung mit den neuesten optischen Bildgebungstechniken. Insgesamt ist ALS ein anspruchsvolles Gerät, das präzise Bildgebung und Scannen für die Herstellung von Halbleitermaterialien bietet. Die integrierten optischen Transport- und Laserquellentechnologien sorgen für fehlerfreie Ergebnisse und das Leistungsspektrum machen es ideal für ein breites Anwendungsspektrum.
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