Gebraucht GCA AutoStep 200 #9243635 zu verkaufen
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ID: 9243635
Wafergröße: 8"
Wafer stepper, 8"
TROPEL 2145 Lens
i-Line (365 nm): 0.45 NA
Field size: 21 mm
With 8860 Environmental chamber
Insitu probe: Probe mount stage and lens reduction
Automatic Wafer Handler (AWH)
(25) Cycles, 6"
Automatic level wafers
RMS10: (10) Reticles, 5"
Maxi 2000: i-Line light source, 700 W
AFS 100 Automatic focusing system
MicroDFAS:
Local alignment system
Alignment prior stepping
SmartSet:
Metrology computer system and store data
Single / Multiple steppers
IQ Probe:
Lamp position and light source
Programmable Platen Control (PPC)
Automatic adjust reticle load position
Integrated Alignment System (IAS)
Automatic digital alignment
Atmospheric Compensation System (ACS)
Nitrogen reduction lens.
GCA AutoStep 200 ist ein automatisierter Wafer-Stepper, der die Abtasteffizienz und Flexibilität bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen maximiert. GCA AUTO-STEP 200 bietet eine präzise und wiederholbare Substratpositionierung und erfordert eine minimale Benutzereingabe, um funktionieren zu können. Das Gerät ist mit einer automatischen Skalierungsoptik ausgestattet, die Wafer von 200mm bis 8 "in der Größe verarbeiten kann und eine optimale Belichtungsgenauigkeit bietet. Das Optiksystem ist dann mit einer hochmodernen Dual-Sensor-Autofokus-Funktion ausgestattet, um eine hochauflösende Bildgebung zu gewährleisten. Der Belichtungskopf ist mit Geschwindigkeiten bis 8mm/Sekunde durchfahrbar und kann sowohl in der X- als auch in der Y-Achse eingestellt werden. AutoStep 200 wird von der GCA proprietären Algorithmus-basierten Steuereinheit angetrieben. Diese Maschine gewährleistet eine optimale Platzierungsgenauigkeit durch Vorhersagen und Korrektur potenzieller Positionsfehler vor der Belichtung. Der Algorithmus ermöglicht auch eine effiziente Belichtungsausrichtung und ermöglicht es dem Werkzeug, die freiliegende Fläche genau zu vergrößern oder zu reduzieren. AUTO-STEP 200 beinhaltet eine umfassende Reihe von Sicherheitsfunktionen zum Schutz der Wafer und des Benutzers. Alle Belichtungsparameter sind programmierbar und das Asset enthält sowohl Hardware- als auch Software-Sicherheitsinterlocks, um die Einhaltung der Sicherheitsprotokolle zu gewährleisten. Abschließend ist GCA AutoStep 200 ein leistungsstarker und zuverlässiger automatisierter Wafer-Stepper, der auf einfache Weise eine breite Palette von Substraten verarbeitet und präzise und wiederholbare Belichtungsgenauigkeit bietet. Sein algorithmusbasiertes Steuerungsmodell, umfassende Sicherheitsfunktionen und die Dual-Sensor-Autofokus-Funktion machen es zur idealen Wahl für Anwendungen zur Geräteherstellung.
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