Gebraucht GCA DSW 8500SE #9252320 zu verkaufen

Hersteller
GCA
Modell
DSW 8500SE
ID: 9252320
Stepper Lens: TROPEL 2142G (436 nm), DFAS, PPC, 5x Reduction Illumination: Theta III, insitu, maxi 2000 pulsed Lamp power: Rated 1050 W MIMIR 4105 Optical energy controller Includes: HVAC Unit (R12) GCA 6660S Environmental chamber Chiller Spare parts ~1992 vintage.
GCA DSW 8500SE ist eine Schritt-und Wiederholungs-Wafer-Stepper-Ausrüstung, die für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterherstellung geeignet ist. Das System ist mit Funktionen wie breiter spektraler Empfindlichkeit, ultrahoher Auflösung, präziser Musterplatzierung und schnellem Durchsatz ausgestattet. Die empfindliche, tief-UV-Optik und die fortschrittliche optische Bildgebungstechnologie der Maschine ermöglichen es, eine breite Palette von Photoresists einer breiten Palette von Wellenlängen und einer breiten Palette von Schichtdicken auszusetzen. Diese ist für den Einsatz mit fortschrittlichen lithographischen Prozessen optimiert. Eine präzise Schrittmotor-angetriebene x-y-Stufe ermöglicht eine präzise Musterplatzierung über den gesamten Wafer. Dadurch ist es möglich, Submikron-Genauigkeit auszurichten und zu registrieren. Die lithographische Bildgebungspräzision von DSW 8500SE wird über eine Vielzahl von Bildintensitäten und Skalenbereichen aufrechterhalten. Die robuste mechanische Konstruktion der Maschine ermöglicht es dem Gerät, mit extrem hoher Genauigkeit zu arbeiten, auch wenn es Vibrationen anderer Maschinen ausgesetzt ist. Seine vakuumumgeschlossene Stufe sorgt für eine optimale Waferstabilität während des Schrittschrittbetriebs, was den Durchsatz und die Zuverlässigkeit erhöht. GCA DSW 8500SE bietet einen schnellen Durchsatz mit einer Wafer-Ladezeit von weniger als zwei Minuten, um eine hervorragende Filmgleichförmigkeit und Bildplatzierungsstabilität zu erzielen. Seine erweiterten Bildgebungsfunktionen ermöglichen auch eine einfache Bildskalierung und hochentwickelte Overlay-Toleranzen. Zu den benutzerfreundlichen Funktionen der Maschine gehören ein Bedienfeld für einstellbare Lichtintensität und leicht lesbare Bildschirme zur schnellen Einstellung der Belichtungsparameter. Darüber hinaus kann das Tool mit optionaler Automatisierungsfähigkeit automatisiert werden. Insgesamt ist DSW 8500SE aufgrund seiner breiten spektralen Empfindlichkeit, Präzision, Geschwindigkeit und benutzerfreundlichen Eigenschaften eine ausgezeichnete Auswahl an Waferstufen für die Halbleiterherstellung. Mit seiner zuverlässigen fortschrittlichen Optik und thermischen Leistung ist die Anlage eine ideale Wahl für Kunden, die ein zuverlässiges und stabiles Photolithographiemodell benötigen.
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