Gebraucht GCA / ISI ALS 200 #21478 zu verkaufen

GCA / ISI ALS 200
Hersteller
GCA / ISI
Modell
ALS 200
ID: 21478
Wafergröße: 4"-8"
Stepper with 2040i 20mm lens, I-Line, 4" to 8".
GCA/ISI ALS 200 ist ein Waferstepper, der bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs) eingesetzt wird. Es ist eine Schrittmaschine, die mit einem Durchsatz von bis zu 200 Wafern pro Stunde arbeitet. Dieses Gerät verwendet Stufen- und Wiederholungstechnologie, um in kurzer Zeit effektiv zu produzieren. GCA ALS 200 speist den Wafer durch zwei Beleuchtungsstufen. In der ersten Stufe wird der Wafer mit einer Lichtquelle beleuchtet, die ein Punktmuster erzeugt, das die auf den Wafer zu übertragende Schicht darstellt. Die zweite Stufe ist die Projektion, mit der der Wafer belichtet wird. Dabei wird der Wafer mit einer Hochgeschwindigkeits-X-Y-Stufe bewegt und das erzeugte Muster ohne Verwischung auf den Wafer übertragen. Die erfolgreiche Belichtung führt zur Erzeugung elektrischer Wege auf den Wafer. ISI ALS 200 ist hochgenau und präzise in der Positionierung; es kann die Markierungen genau und präzise über die gesamte Oberfläche des Wafers mit einer Genauigkeit von 1 Mikron in X- und Y-Richtung platzieren. Es hat auch die Möglichkeit von zwei Steuermodi zur Stufenpositionskontrolle des Wafers. Diese sind: der Mikroprozessor geschlossene Schleife Position Steuermodus, und der Computer Vision Open-Loop-Steuermodus. ALS 200 bietet auch einstellbare Belichtungseinstellungen, die auf Basis externer Anforderungen manipuliert werden können. Die Frequenzoption ermöglicht eine weitere Anpassung für UV- und Low-Light-Anwendungen. Es bietet auch Belichtungsüberwachung, Waferausrichtung, Datenspeicherung und kann in andere Systeme wie Filmtracker und Automatisierung integriert werden. Schließlich ermöglicht GCA/ISI ALS 200 eine vollständige Anpassung beim Kauf und der Erstinstallation. Dazu gehören benutzerdefinierte Masken, Filmkassetten und Vakuumlader, die alle optional verfügbar sind, sowie die Möglichkeit, das System manuell hochzuladen und fernzusteuern.
Es liegen noch keine Bewertungen vor