Gebraucht GCA XLS 7800 #9246052 zu verkaufen

GCA XLS 7800 ist eine Vollfeld-optische Bildgebungsausrüstung, die die fortschrittlichste für Wafer-Lithographieanwendungen verfügbare Schritttechnologie liefert. Die Stepper-Technologie kombiniert anpassbare, hochpräzise Belichtungsoptiken mit einer innovativen Lichtfeldlinse für verbesserte Fokussiertiefe, so dass Benutzer Geräte bis zum Niveau von 12 µm mit luftführenden Schiebern, 18 µm mit installierten Lichtfeldlinsen und 0,35 µm minimalen Funktionsgrößen herstellen können. Das System integriert auch GCA proprietäre iCentris™ bildgebende Steuereinheit, eine integrale Komponente, die Prozessveränderung und hochauflösende Bildgebung ermöglicht. XLS 7800 ist eine bewährte Lithographiemaschine der Produktionsklasse, die einen sehr hohen Durchsatz und eine sehr hohe Auflösung bietet. Es verfügt über ein vollständiges Waferfeld 40mm x 40mm, mit einer maximalen Wafergröße von 200mm für Full-Service-Wafer-Scan und Bildgebung. GCA XLS bietet überlegene Bildgenauigkeit und Stabilität durch sein Skyfire™ optisches Bildgebungswerkzeug, einen einzigartigen Ausrichtungs- und Bildgebungscontroller. Skyfire-Kalibrierplatten an jedem Werkzeug werden bei Inbetriebnahme, Abschaltung und während jeder Schicht verwendet, um Prozessstabilität und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. GCA XLS 7800 bietet UV-ASMLTM diamantgedrehte Optik mit bis zu 3,4-facher Vergrößerung. Diese erweiterte Optik bietet hochauflösende Bildgebung und präzise Feinabstimmung der Belichtungsparameter, um beste Bildqualität zu gewährleisten. Dies wird durch hohen Kontrast und Gleichmäßigkeit im Feld unterstützt, die durch seinen dynamischen Partikelmonitor noch verstärkt werden. XLS 7800 verwendet außerdem ein Schnellwechselnetzmodell, das einen höheren Durchsatz und eine geringere Wartungszeit ermöglicht. Das Tool bietet zudem eine außergewöhnliche Automatisierung mit vollautomatischer Indexierung, Autofokus, Montageerkennung und Kantenerkennung. Das Stepper-Setup wird automatisch über die mitgelieferte Option Auto-Setup durchgeführt. Index- und Schrittwiederholgenauigkeit werden effektiv durch GCA Zickzack Augenmuster beibehalten. GCA XLS 7800 bietet auch ein breites Spektrum an Resist-Prozessen, unterstützt gleichzeitig eine Vielzahl von Resists auf demselben Wafer und bietet eine einzige Plattform zur Unterstützung von Wafer To Reticle™ Laser Direct Imaging. XLS 7800 ist eine äußerst zuverlässige und kostengünstige bildgebende Ausrüstung für eine breite Palette von Wafer-Lithographieanwendungen und bietet eine vielseitige, funktionsreiche Lösung für Produktions- und Forschungs- und Entwicklungsanforderungen. Es bietet maximalen Durchsatz, Genauigkeit und Prozessausbeute bei minimaler Wartung und ist somit die perfekte Wahl für jeden fortschrittlichen Lithographiebetrieb.