Gebraucht HITACHI LD-5011iA #9085774 zu verkaufen

Hersteller
HITACHI
Modell
LD-5011iA
ID: 9085774
Wafergröße: 6"
Steppers, 6" Reticle, 5".
HITACHI LD-5011iA ist ein Wafer-Stepper für die Herstellung von hochmodernen Halbleiterbauelementen. Dieser Wafer-Stepper ist in der Lage, 5-Zoll (bei 200mm) mikrolithographische Bilder zu erzeugen, indem Licht durch eine Reihe von ausgerichteten Retikeln gedruckt wird. Es bietet überlegene Leistung und Effizienz mit seiner automatisierten, gleichzeitigen Objektivänderung, Musterprojektion und Ausrichtungsfunktionen. LD-5011iA ist eine Stufen- und Wiederholungseinrichtung, die aus einem akusto-optischen Modulator besteht, um eine präzise Retikelpositionierung sowie eine Fokusausrichtung zu ermöglichen. Mit seinen automatisierten Automatisierungsmusterprojektions- und Waferausrichtungssystemen kann es eine große Anzahl von Mustern auf einem einzelnen Wafer projizieren und ausrichten. Dieser Wafer-Stepper ist mit einer hochauflösenden, hochauflösenden optischen Projektionslinse ausgestattet, die beugungsbegrenzte Bilder von bis zu 0,6-Mikron-Merkmalen erzeugen kann. Darüber hinaus verfügt HITACHI LD-5011iA über eine hohe Geschwindigkeit sowie eine hohe Genauigkeit und bietet maximale Belichtungszeiten bei ausgezeichneter Bildqualität. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Belichtungen zu unterstützen und widersteht es dem Benutzer, Prozesse entsprechend ihren Bedürfnissen zu optimieren. Das System verfügt auch über eine Vielzahl von Belichtungsfunktionen, die je nach Anforderungen des Benutzers verwendet werden können. Dies beinhaltet Corner of Field Security (FSE) für optimale Platzierungsgenauigkeiten, Fehlerinspektion und schnelle Waferinspektion. Darüber hinaus ist das Modell in der Lage, dynamische Fokussteuerung (DFC) und Schussprozessfähigkeit bereitzustellen. Darüber hinaus ist LD-5011iA mit einer fortschrittlichen Kühleinheit ausgestattet, die die Temperatur- und Feuchtigkeitsstabilität aufrechterhält. Diese Maschine ist ein fortschrittliches thermisches Kontrollwerkzeug, das verbesserte Homogenität und Gleichmäßigkeit in allen Umgebungsbedingungen bietet. Seine Laserstrahlquelle He-Cd wurde speziell entwickelt, um überlegenen Schusserfolg, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit zu erzielen, was zu qualitativ hochwertigen Ergebnissen führt. Insgesamt ist HITACHI LD-5011iA Wafer Stepper eine robuste, leistungsstarke Plattform, die für die Verarbeitung von Halbleitermikrolithographie entwickelt wurde. Mit seinen zahlreichen Features und Funktionen wie automatisiertem Objektivwechsel, Musterprojektion und Ausrichtung sowie der dynamischen Fokus- und Schussprozesssteuerung ist es ein leistungsfähiges Gut, das einen hohen Durchsatz, ausgezeichnete Musterplatzierungsgenauigkeit und überlegene Ergebnisse bieten kann.
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