Gebraucht HITACHI LD-5011iA #9130224 zu verkaufen

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HITACHI LD-5011iA
Verkauft
Hersteller
HITACHI
Modell
LD-5011iA
ID: 9130224
Wafergröße: 6"-8"
Steppers, 6"-8".
HITACHI LD-5011iA ist ein voll funktionsfähiger Wafer-Stepper, der eine hohe Bildqualität und ein hohes Maß an Prozessgleichförmigkeit liefert. LD-5011iA wurde mit einer Reihe von Schlüsselmerkmalen entworfen, um Lithographieprozesse zu optimieren und konsistente Ergebnisse zu erzielen. HITACHI LD-5011iA ist mit einer Reduktionsobjektivlinse (ROL) mit einer numerischen Linsenblende von 1,2 ausgestattet, die ein vergrößertes und sehr detailliertes Bild des Wafers liefert. Das Mikroskop verfügt außerdem über einen einzigartigen Fokussierungsmechanismus und einen Low-Profile-Objektivausgleich, um sicherzustellen, dass sich die Vergrößerung während des Belichtungsprozesses nicht verschiebt. Der Wafer-Stepper hat die Fähigkeit, mehrere Arten von Beleuchtung zu handhaben, einschließlich UV und sichtbare Wellenlängen, so dass es für verschiedene Arten von lithographischen Prozessen geeignet sein. Der Stepper verfügt auch über einen einzigartigen doppelt gerichteten Servoverschluss, der stabile Belichtungszeiten für jeden Schritt des lithographischen Prozesses bietet. Der Wafer-Stepper verfügt auch über eine hochpräzise Auto-Fokus-Ausrüstung, ausgestattet mit einem Laser-Interferometer, das eine breite Palette von Wafer-Höhen aufnehmen kann. LD-5011iA hat eine maximale Auflösung von 1,67 µm und kann eine breite Palette von Verarbeitungsanforderungen erfüllen. Das System bietet auch eine optionale Software-Option, um eine maßgeschneiderte Fokus-Messeinheit mit automatischer Fokuseinstellung zu erstellen, so dass der Benutzer den Fokus in einer Vielzahl von Betriebsbedingungen genau einstellen kann. Die Maschinensoftware bietet zudem umfassende Funktionen zur Funktionssteuerung, mit denen der Anwender den Prozess anpassen kann. Darüber hinaus ist HITACHI LD-5011iA als benutzerfreundlicher Stepper konzipiert und bietet eine intuitive dialoggesteuerte Benutzeroberfläche, um die Einstellung und Bedienung zu erleichtern. Der Wafer-Stepper verfügt zudem über einen sehr zuverlässigen Fördermechanismus mit schneller Indexierung und sicherer Probenhandhabung, die höhere Produktionserträge ermöglichen. LD-5011iA ist ein vollautomatischer und zuverlässiger Waferstepper, der für eine Vielzahl von lithographischen Prozessen eingesetzt werden kann. Es bietet eine breite Palette von Funktionen, um lithografische Prozesse zu optimieren und zuverlässige, konsistente Ergebnisse zu erzielen. Mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche und zuverlässiger Fokussierung eignet sich HITACHI LD-5011iA ideal für Serienumgebungen.
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