Gebraucht ICOS T 102 #9152988 zu verkaufen
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ICOS T 102 Wafer Stepper ist eine Art von Lithographie-Ausrüstung, die für hohe Präzisionsergebnisse bei hohem Durchsatz und niedrigen Kosten pro Wafer entwickelt wurde. Das System nutzt Projektionsoptiken, um die Produktionskosten zu senken und gleichzeitig qualitativ hochwertige Bilder auf der Waferoberfläche zu erzeugen. Dieses Gerät verfügt über mehrere Plattformkonfigurationen wie die erweiterten 2-Scan- und Auto-Nivelliersysteme für eine präzise Belichtungsausrichtung. Es enthält auch eine integrierte Ausrichtmaschine, automatische Fokussteuerung und schnelle Belichtungssequenzsteuerung. T 102 verfügt über einen Smart Reticle/Mask Changer für maximale Prozessflexibilität. Diese Funktion ermöglicht die Verwendung von mehreren Masken/Retikeln für verschiedene Arten von Produkt-Wafern. Das Tool kann auch bis zu 6 "Wafer für die komplette Batch-Verarbeitung scannen. Die automatisierte Vorausrichtung ermöglicht eine schnelle und einfache Reticle-Positionierung. Die Funktion Automatische Fokussierung - Intelligentes Messen (Auto Focus Smart Measure) und Smart Index (Smart Index) erkennen die Geometrieposition und die Flexibilität der automatischen Fokussierung ermöglicht maximale Auflösung und Bilddetails ICOS T 102 kommt auch mit einer fortschrittlichen optischen Konstruktion mit einer 8-Zoll-Tiefenschärfe für eine verbesserte Fokusregelung. Es verfügt über einen automatisierten Projektionskontakt, der effektiv Muster vom Retikel auf den Wafer überträgt. Diese Funktion hilft, Verzerrungen und Geräusche zu reduzieren. Die Anlage ist vollständig kompatibel mit der automatisierten thermischen Steuerung, die eine zusammenhängende und konsistente Heizungstemperatur für überlegene Bildgebung gewährleistet. Um schnelle und präzise Ergebnisse zu gewährleisten, enthält das Modell auch mehrere leistungssteigernde Funktionen wie die automatische Kalibrierung, die Automatisierung des Markierungssensors und Bildmonitore, um Fehlbildungen zu erkennen. Die integrierte Kalibrierung/Inspektion sorgt für zuverlässige Bildqualität über mehrere Plewafer hinweg. Das Gerät verfügt über eine Belichtungszeitoptimierungsfunktion, die die Belichtungszeit mit zusätzlicher Präzision genau steuern kann, um bessere Ergebnisse zu erzielen. T 102 Wafer Stepper ist ein zuverlässiges und robustes System mit hoher Präzision und Durchsatz mit seinen verschiedenen Funktionen und leistungssteigernden Technologien. Es kommt mit einer automatisierten thermischen Steuerung für mehr konsistente Leistung, und seine reticle Wechsler bietet erhebliche Prozessflexibilität bei gleichzeitig hervorragender Bildqualität. Dieses Gerät ist ideal für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen, um Kosten zu senken und die Kundenzufriedenheit zu verbessern.
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