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INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3
ID: 9380735
EMI Compensation system.
INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3 Wafer Stepper ist eine hochpräzise Maschine zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es verwendet ein photolithographisches Verfahren, um Muster auf die Oberfläche von Wafern zu übertragen. Der Stepper ist in der Lage, Funktionsgrößen von weniger als 50 Mikrometer zu erreichen, so dass er sich ideal für die Herstellung elektronischer Komponenten im Nanometermaßstab eignet. Herzstück von MK3 ist die bildgebende Ausrüstung. Das System besteht aus einer Lichtquelle, einer Linseneinheit und einer strahlformenden Technologie, die das Licht auf den Wafer fokussiert. Die bildgebende Maschine ist in der Lage, die gewünschten Muster von der Maske auf den Wafer genau wiederzugeben. Es steuert auch die Verteilung von Lichtintensität und Strahlgröße, um die gewünschten Merkmale zu erzeugen. Der Wafer-Stepper ist außerdem mit einem Präzisionsbewegungs-Steuerwerkzeug ausgestattet, das dafür sorgt, dass die Lithographiemuster genau auf den Wafer aufgesetzt werden. Das Bewegungselement verfügt über eine dreiachsige Motorsteuerung, die den Wafer in einem dreidimensionalen Raum genau bewegen kann. Auch die Geschwindigkeit, Beschleunigung und Verzögerung der Einsätze kann genau gesteuert werden. Darüber hinaus verfügt der Wafer-Stepper über mehrere Sicherheitsmerkmale. Dazu gehört ein Modell zur Kontaminationskontrolle, das zur Verringerung des Partikelgehalts beiträgt, um eine saubere und zuverlässige Produktion zu gewährleisten. Ein programmierbarer Logik-Controller (SPS) wird verwendet, um die Geräte zu überwachen, um mögliche Maschinenstörungen zu verhindern. Die SPS wird auch verwendet, um den Betrieb des Wafer-Steppers während Zeiten der Inaktivität zu steuern, so dass eine automatisierte Reaktion auf Umgebungsbedingungen und Systemstatus ermöglicht. Insgesamt ist INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING MK3 ein zuverlässiger und präziser Wafer-Stepper zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente. Es verfügt über moderne Bildgebungs- und Bewegungssteuerungssysteme, die eine genaue und präzise Lithographie und Bewegungssteuerung ermöglichen. Der Stepper verfügt auch über modernste Sicherheitsfunktionen, um den sichersten und zuverlässigsten Betrieb der Maschine zu gewährleisten.
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