Gebraucht KOMATSU G20K2-1 #9095924 zu verkaufen

KOMATSU G20K2-1 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der zur genauen Positionierung und Ausrichtung von Photomasken mit hoher Genauigkeit für Bildübertragungsprozesse entwickelt wurde. Dieser robuste, integrierte Wafer-Stepper verwendet ein feldprogrammierbares Logikgerät (FPLD) und eine Mehrproben-Fadenkreuzkamera, um die Photomaske genau zu lokalisieren und ein genaues Fadenkreuz zu erzeugen, das sich auf den Probenbereich auf der Photomaske bezieht. Die FPLD, gekoppelt mit der Bewegungs- und Steuereinheit, ermöglicht KOMATSU G 20 K 2-1, die Fotomaske genau zu positionieren. Diese Einheit misst die Positionierung des Wafers in der X- und Y-Achse und erzeugt kontinuierliche Daten zur dynamischen Steuerung. Ein Umgebungsbrillenstrahlsensor mit erweiterter Beleuchtungslöschschaltung erfasst Daten zur präzisen Messung. G20K2-1 ist mit zwei Mikrometern ausgestattet, um eine genaue Mikroausrichtung der Photomaske zu ermöglichen. Die Mikrometer messen den Abstand zwischen der Fotomaske und dem Wafer alle 0,1 mm, und die Daten werden an das Steuergerät und den Wafer-Stepper gesendet, um die Position und Ausrichtung der Fotomaske einzustellen. Zum Antrieb der Mikrometer werden motorisierte Motoren verwendet. G 20 K 2-1 ist zudem mit einem Autofokus-System und einer Laserausrichteinrichtung ausgestattet. Die Autofokus-Einheit verwendet eine CCD-Kamera, um Daten über die Brennweite der Fotomaske zu erfassen. Diese Daten können verwendet werden, um den Abstand zwischen der Photomaske und dem Wafer einzustellen, um einen genauen Fokus zu gewährleisten. Die Laserausrichteinrichtung verwendet einen Strahlsensor, um das Fadenkreuzbild auf der Photomaske vom Rand des Wafers aus zu analysieren. Mit diesen Daten wird die Positionierung der Fotomaske vor Beginn des Belichtungsprozesses korrigiert. Um die Genauigkeit der Position und Ausrichtung der Fotomaske weiter zu verbessern, verwendet KOMATSU G20K2-1 einen fortgeschrittenen Analyse- und Korrekturalgorithmus, der Spotdefekte im Fadenkreuzbild beseitigt. Darüber hinaus kann die FPLD programmiert werden, um verschiedene Belichtungsparameter aufzunehmen. KOMATSU G 20 K 2-1 ist zudem mit einer integrierten Diagnose- und Überwachungsmaschine ausgestattet. Dieses Tool überwacht die Leistung der Maschine und macht Verbesserungsvorschläge. Des Weiteren können alle Daten und Parameter der FPLD und der Bewegungs- und Steuereinheit an eine Zentrale übertragen werden, so dass die gesamte Anlage ferngesteuert und überwacht werden kann. Insgesamt ist G20K2-1 ein fortschrittlicher und robuster Wafer-Stepper, der hervorragende Leistung und Genauigkeit für Bildübertragungsprozesse bietet. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und Technologien stellt es das präziseste Ergebnis für alle Photomasken-Belichtungen sicher.