Gebraucht MIDAS MDE-20000 #9215486 zu verkaufen
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MIDAS MDE-20000 ist ein Wafer-Stepper, der in der Photolithographie verwendet wird, um eine Vielzahl von 3D-Formen und Strukturen auf ein Substrat abzubilden. Die Vorrichtung besteht aus zwei verschiedenen Komponenten; die Projektionseinheit und die Waferstufe und verwendet ultraviolette (UV) Photolithographie, um die Formen auf dem Substrat zu definieren. MDE-20000 Projektionseinheit kann Strukturen mit einer Auflösung von 0,25 µm (250 nm) mit einer Genauigkeit von bis zu 5 µm (5.000 nm) definieren. Die Projektionseinheit enthält eine Abtastoptik und eine Laserquelle, mit der das gewünschte Formmuster auf den Wafer projiziert wird. Die Optik der Projektionseinheit ist so konzipiert, dass sie eine Intensitätsgleichmäßigkeit von mehr als 0,1% über die gesamte bildgebende Fläche bietet und zur Projektion von Belichtungsfeldern bis zu einem maximalen Durchmesser von 20 mm verwendet werden kann. Die Waferstufe von MIDAS MDE-20000 ermöglicht die Bewegung eines Wafers oder Substrats unter der Projektionseinheit. Der Wafer ist an einer zweidimensionalen motorischen Stufe befestigt und kann sowohl entlang der X- als auch der Y-Achse verstellt werden. Die Waferstufe beinhaltet auch eine Motorsteuerung mit geschlossenem Regelkreis, mit der sichergestellt wird, dass der Wafer für die Bildgebung immer in der richtigen Position ist. Die Position der Waferstufe kann mit einer Genauigkeit von bis zu 0,5 µm (500 nm) gemessen werden. MDE-20000 verfügt auch über eine umfassende Reihe von Sicherheitsfunktionen, um sowohl Benutzer als auch das Gerät vor potenziell schädlicher Strahlung zu schützen. Diese Funktionen umfassen eine Reihe von Sensoren, die die Temperatur und Lichtintensität des Geräts überwachen, um die Sicherheit der Benutzer zu gewährleisten, zusammen mit einem Sicherheitsverschluss und einer Notstromabschaltmaschine. MIDAS MDE-20000 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Wafer-Stepper, der für eine Vielzahl von photolithographischen Anwendungen geeignet ist. Mit seiner Kombination aus bildgebender Auflösung, Genauigkeit und Sicherheitsmerkmalen ist MDE-20000 eine ideale Lösung für hochpräzise bildgebende Anforderungen.
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