Gebraucht NIKON 10897B #293665610 zu verkaufen

NIKON 10897B
Hersteller
NIKON
Modell
10897B
ID: 293665610
Laser axis for NSR 2205 i12D.
NIKON 10897B Wafer Stepper ist ein hochpräzises, großes Feld bildgebendes Gerät, das entworfen ist, um hochgenaue Bilder von großen Halbleiterscheiben zu erzeugen. Dieses System verwendet eine hochauflösende Stufe, die es ermöglicht, eine bildgebende Genauigkeit von bis zu 1 Nanometer in einer Feldgröße von 450 mm zu erreichen. 10897B verfügt über eine Zwei-Wellenlängen-Lasereinheit, die einen 405nm galliumbasierten ArF (Argonfluorid) Excimerlaser mit einem 532nm frequenzverdreifachten Nd: YAG (neodym-dotiertes Yttrium Aluminium Granat) Laser kombiniert. Diese Zweiwellenlängenmaschine ermöglicht es, dünnere Schichten als Einwellenlängensysteme abzubilden. NIKON 10897B hat eine niedrige k1-Verzerrung, die es ermöglicht, mit weniger Verzerrung in der Bildebene zu bildern. Es hat auch eine hohe numerische Apertur (NA), die es ermöglicht, mehr Licht durch die Linse zu sammeln, so dass es eine hohe Auflösung zu erreichen. Dieses Werkzeug hat eine Antireflexbeschichtung auf der Linse, die es hilft, Lichtstreuung und Reflexion zu vermeiden, wodurch die Bildqualität verbessert wird. 10897B Wafer-Stepper ist mit einem 6-Achsen-Motion-Asset gebaut, das eine genaue Positionierung beim Mustern von Wafern gewährleistet. Es ist in die NIKON S2M Optimizer-Software integriert, die regelmäßig Unterschiede zwischen bearbeiteten Funktionen und Konstruktionsmustern überwacht und kompensiert und einen hohen Durchsatz und eine hohe Genauigkeit bietet. Es hat auch ein aktives Schwingungsregelungsmodell, das äußere Schwingungen auf ein zulässiges Niveau isoliert und eine hohe Genauigkeit gewährleistet. NIKON 10897B hat eine Hochgeschwindigkeits-Strukturierungsrate von bis zu 360 Mustern pro Stunde und ermöglicht schnelle Durchsatzraten für Wafer-Stepper. Es hat auch verbesserte Datenflussoperationen, so dass die Ausrüstung an andere Geräte mit Geschwindigkeiten von bis zu 12 Megabit pro Sekunde angeschlossen werden und Dateien schnell laden. Darüber hinaus ist das System einfach zu warten, mit einer Ausgleichsfiltereinheit und Reinigungsfunktionen zur regelmäßigen Reinigung des Schrittes. Insgesamt ist 10897B Wafer-Stepper eine hochentwickelte und präzise Bildverarbeitungsmaschine, die für die Halbleiterwaferbearbeitung entwickelt wurde. Es bietet ein großes Bildfeld, Zwei-Wellenlängen-Laserwerkzeug, niedrige k1-Verzerrung und hohe NA, Antireflexbeschichtung auf der Linse, 6-Achsen-Bewegungs-Asset und S2M Optimizer-Software, aktives Schwingungssteuerungsmodell, Hochgeschwindigkeits-Strukturierungsrate und verbesserte Datenflussoperationen. Diese Funktionen ermöglichen NIKON 10897B Wafer Stepper hohe Genauigkeit und Durchsatzraten zu bieten, um eine effiziente und qualitativ hochwertige Wafer-Produktion zu gewährleisten.
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