Gebraucht NIKON EX12 #293776343 zu verkaufen

NIKON EX12
Hersteller
NIKON
Modell
EX12
ID: 293776343
Stepper.
NIKON EX12 ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der für das fortschrittliche Photolithographieverfahren der Halbleiterherstellung entwickelt wurde. Es verfügt über eine volle 1: 1-Projektionsoptik, die eine hochpräzise Abbildung auf dem Wafer ermöglicht und präzise bemessene Muster mit scharfen Details erzeugt. Dies macht es ideal für Halbleiteranwendungen, einschließlich Geräteherstellung und Submikron-Merkmalsausrichtung. NIKON EX 12 verwendet ein zweistufiges Reduktionssystem, um Verzerrungen und Aberrationen zu minimieren, was zu einem verbesserten Endbild führt. Es beinhaltet die neueste CNC-Technologie (Computer Numerical Control), um reibungslose, genaue und wiederholbare Operationen zu gewährleisten. Der Wafer-Stepper kann Muster im Bereich von 80nm bis 20µm Steigung mit einer 800mm Field Lens Projection (FLP) Einheit erzeugen. EX12 verfügt auch über eine hohe Stabilität bei längerem Betrieb. Seine fortschrittliche Servoantriebsmaschine mit geschlossenem Regelkreis hilft, die gesamte Schrittschwingung, thermisch induzierte Verzerrungen und Luftverwirbelungen zu reduzieren. Dies führt zu einer präzisen und konsistenten Waferausrichtung und Bildgebung. Der Stepper ist mit einem fortschrittlichen Mustererkennungswerkzeug ausgestattet, das eine komplexe Musterbildgebung mit hoher Genauigkeit ermöglicht. Es verfügt auch über verschiedene Scanmodi, wie lineare, variable und Spiralscannen. Der variable Scan-Modus ist besonders für Wafer mit längeren Belichtungszeiten hilfreich, da er zur Optimierung der bildgebenden Belichtung beitragen kann. Der Stepper ist zudem mit einer integrierten Messanlage ausgestattet, die den Eingriff des Bedieners minimiert und die Prozesssteuerung verbessert. Es kann Retikel-Koordinaten in Echtzeit erzeugen, so dass Operatoren Produktformen während der Fahrt genau überprüfen können. EX 12 hat auch die Fähigkeit, bis zu zwei Ausrichtungsstufen zu unterstützen und einen Halbleiterwafer zwischen Stufen zu übertragen. Dadurch wird der Chip-Produktionsprozess effizienter. Der Wafer-Stepper unterstützt verschiedene Arten von Software, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden, einschließlich der gesamten Palette von EDA-Lösungen. Insgesamt ist NIKON EX12 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der den anspruchsvollsten Prozessen in der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es verfügt über ausgezeichnete bildgebende Präzision, hohe Prozesssteuerung und Automatisierung und eine Reihe von Funktionen, die den Halbleiterherstellungsprozess erleichtern sollen.
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