Gebraucht NIKON FX 501D #9412549 zu verkaufen

NIKON FX 501D
Hersteller
NIKON
Modell
FX 501D
ID: 9412549
Steppers.
NIKON FX 501D ist eine großformatige Schrittbelichtungsmaschine zur Herstellung von Wafern und anderen flachen Geräten. Es ist mit einer einzigartigen Scantechnologie ausgestattet, die in der Lage ist, kontinuierlich hochwertige Düsen- und Gerätebelastung aus einer Vielzahl von Materialien herzustellen, darunter Schmelzkieselsäure, Quarz, Einkristall-Silizium und Aluminium. NIKON FX-501D hat zwei Hauptteile, den Mechanikkörper und die Optik. Der Maschinenkörper enthält den Schrittmotor, eine Inline-Belichtungseinrichtung und ein Antriebssystem, das eine Vielzahl von Bewegungen und Geschwindigkeiten ermöglicht. Dieser Motor wird von einer Reihe von Zahnrädern angetrieben und mit einem Linearantrieb verbunden, der die Position der Optik steuert. Der Optikabschnitt besteht aus einer High-Numerical-Aperture-Objektiveinheit und einer CCD-Array-Kamera. Die Optik ermöglicht die Einleitung des Belichtungsprozesses mit den entsprechenden Belichtungseinstellungen, die entsprechend den Material- und Belichtungssteuerparametern eingestellt werden können. FX 501D ist mit einem programmierbaren Wafer-Stepper ausgestattet, der die Entwicklung hochpräziser Düsenmuster unterstützt. Es automatisiert den Belichtungsprozess, indem es die Belichtungseinstellungen, Temperatur und Leistung des Schrittmotors steuert. Der Stepper sorgt für hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Musterpositionen und Linienbreiten. FX-501D ist so konzipiert, dass die Belichtungsgenauigkeit bei allen Belichtungseinstellungen +/- 2 um beträgt. Darüber hinaus verfügt es über ein großes Sichtfeld und eine hohe Auflösung. Auf diese Weise kann die Maschine feine Details und komplizierte Mikrostrukturen erzeugen. Es gewährleistet auch eine Vielzahl von Belichtungsfunktionen, um die Anforderungen verschiedener Anwendungsanforderungen zu erfüllen. NIKON FX 501D ist mit einer intelligenten Steuerungsmaschine ausgestattet, die die Belichtungseinstellungen und die Motordrehzahl für optimale Ergebnisse reguliert. Das Steuerwerkzeug ist in der Lage, die Belichtungsprofile an die Bedürfnisse verschiedener Materialien und Prozesse anzupassen. Darüber hinaus bietet es umfassenden Schutz vor Auffälligkeiten, die die Stabilität des Expositionsprozesses beeinträchtigen könnten. NIKON FX-501D wird von einem integrierten luftgekühlten Lüfter angetrieben, der eine kontrollierte Temperaturumgebung für den Belichtungsprozess bereitstellt. Dies hilft, eine hohe Genauigkeit und Präzision im Belichtungsprozess zu gewährleisten, was zu einer besseren Produktausbeute und einer qualitativ hochwertigeren Produktion führt. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer intuitiven Computerschnittstelle ausgestattet, um eine einfache Bedienung und Dateneingabe zu ermöglichen. Abschließend ist FX 501D ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der eine präzise Kontrolle des Belichtungsprozesses und eine hervorragende Leistung bietet. Seine breite Palette an Belichtungsfähigkeiten, hohe Genauigkeit und hervorragende Schutzfunktionen machen es ideal für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen.
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