Gebraucht NIKON FX-601F #9398729 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
FX-601F
ID: 9398729
Stepper.
NIKON FX-601F ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der fortschrittliche Lithographieverfahren ermöglicht. Es bietet einen idealen Mechanismus für die kollaborative Bildgebung und Herstellung von hochpräzisen Halbleiterbauelementen. NIKON FX 601F nutzt fortschrittliche technologische Funktionen, um eine optimale In-Plane-Leistung mit hohen Durchsatzgeschwindigkeiten und zuverlässigem Betrieb zu erreichen. Es bietet die höchste Auflösungsgenauigkeit von > = 3 µm Linie/Raum einschließlich außergewöhnlicher Schrittgenauigkeit. Der Stepper ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, darunter traditionelle lithographische Resist-, binäre und edle Schichtbedingungen. Darüber hinaus hat es die Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafergrößen von 8- bis 200-Millimeter-Durchmesser zu unterstützen, so dass es eine ideale Wahl für Anwendungen, die sowohl Genauigkeit und hohen Durchsatz. Eines der Hauptmerkmale von FX-601F ist die hochintegrierte Multi Patterning Technology (MPT), die fortschrittliche Lithographieverfahren ermöglicht. Diese Technologie hilft, die Maskenkosten zu senken, die Konstruktionsfähigkeit zu verbessern und ein zuverlässigeres und genaueres Ergebnis zu liefern. Darüber hinaus ermöglicht die integrierte optische Ausrüstung eine hohe Bildqualität mit hohen numerischen Öffnungen, wodurch Phasenverschiebungen und Astigmatismus-Effekte reduziert werden. Um einen zuverlässigen Betrieb und eine effiziente Waferbearbeitung zu gewährleisten, ist FX 601F mit einem präzisen optischen Scanner und einem 3D-Projektionssystem ausgestattet. Seine unabhängige Linsenverschiebeeinheit ermöglicht optimale Scanparameter und Schnellschrittoperationen unabhängig von Wafer- und Mustergrößen. Darüber hinaus ist der Stepper mit Linsen ausgelegt, die eine hohe Vorausrichtungsgenauigkeit aufweisen und eine spannungsfreie und hochgenaue Projektion auf große Substrate ermöglichen. Das Gerät ist außerdem mit einer integrierten Autofokusmaschine für eine einfache Bedienung und hervorragende Wiederholbarkeit ausgestattet. Insgesamt ist NIKON FX-601F ein anspruchsvoller Wafer-Stepper mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen, die eine hochpräzise Lithographie mit überlegener In-Plane-Leistung und maximalem Durchsatz gewährleisten. NIKON FX 601F ist mit seinem integrierten MPT und hochgenauen Bauelementen eine leistungsstarke Wahl für professionelle Halbleiterherstellungs- und Lithographieverfahren.
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