Gebraucht NIKON FX-66S #9387891 zu verkaufen

NIKON FX-66 sind eine Oblate Schritt-, oder ein Schritttyp, Fotolithographiewerkzeug scannend, das fortgeschrittene durch NIKON entwickelte Aussetzungskontrolltechnologie der Optik und Optik/Maschine verwendet, um Gesamtdurchfluss auf höchster Ebene zu begreifen. FX-66S verfügt insbesondere über ein vollautomatisches Bühnensystem, das eine autonome Musterausrichtung und Overlay-Registrierung ermöglicht; Verbesserung des Durchsatzes und Erzielung höherer Erträge. Es verwendet auch eine patentierte optische Engine, um hochauflösende Bilder mit bis zu 0,5 µm Auflösung und großer Schärfentiefe zu erzeugen. NIKON FX-66S System erzeugt Muster über eine breite Palette von Ebenen, einschließlich 6-Grad-Binärstufen und 50 Graustufen. Darüber hinaus verwendet FX-66S eine hochpräzise Close-Loop-Waferstufe, die sowohl die für die High-End-Lithographie erforderliche Genauigkeit als auch Stabilität bietet und minimale Pegelverschiebungen erzeugt. Es bietet auch erweiterte Musteroptimierungsfunktionen, um die Zykluszeit und die Auswirkungen optischer Verzerrungen zu reduzieren. Für zusätzliche Musterauflösung und Genauigkeit bietet NIKON FX-66S integrierte PC-gesteuerte TTL-Option eine hohe Belichtungsgleichförmigkeit sowie eine einheitliche Sicherheit zwischen dem Belichtungsbereich und der Umgebung. Darüber hinaus enthält FX-66S einen leistungsstarken SIPP Mirror Optimizer, der die Genauigkeit kritischer Funktionen sowie die neue hochoptimierte Funktion Advanced Step und Repeat verbessert. Dies ermöglicht Schichten mit hochwertigen Mustern und hilft letztlich, die Druckzeit zu reduzieren und die Qualität der Produktion zu verbessern.