Gebraucht NIKON G6 #293793323 zu verkaufen

NIKON G6 ist ein hochpräziser Wafer-Stepper der Firma NIKON Instruments Inc. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Wafergrößen und Düsenkonfigurationen mit hohen Durchsatzdurchsätzen und niedrigen Linienbreiten genau abzubilden. Das NIKON G 6 wurde entwickelt, um den Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht zu werden und bietet zudem eine überlegene Linearität von Bewegungs- und Bildqualitätsmetriken. G6 ist ein vierachsiges Gerät, das aus zwei Abtaststufen, einer Waferstufe und einer Detektorstufe besteht. Die Abtaststufen sind für die genaue Positionierung des Wafers relativ zum Detektor, wie von der Steuerung bestimmt, verantwortlich. Die Waferstufe besteht aus einer vakuumdichten Plattform, die von einer Luftlagereinheit und einer feinteiligen Bleischraube angetrieben wird. Die Detektorstufe wird von einem direkt angetriebenen Schrittmotor angesteuert, der eine zelluläre Abbildungseinrichtung auf die Waferstufe ausrichtet. G 6 ist in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll abzubilden. Die Maschine hat eine XY-Auflösung von 0,01 µm und eine Z-Auflösung von 0,001 µm, mit einem Z-Wafer-zu-Detektor-Spiel von 5 mm. Darüber hinaus hat NIKON G6 eine globale Ebenheit von 0,5 µm und eignet sich somit für eine hochqualitative, hochgenaue Bildgebung. NIKON G 6 verfügt zudem über eine umfangreiche Liste integrierter Optik, darunter ein vertikales Fourier Transform Lens und einen Dual-Line CCD Sensor. G6 hat auch eine Reihe von erweiterten Funktionen und optionale Komponenten, die es ideal für Präzisionsausrichtung und Bildgebung machen. Dazu gehören ein automatisches Kollimationswerkzeug, eine computergestützte 1D-Belichtungssteuerung sowie programmierbare Laserausrichtungs- und Mikroskopfunktionen. Weitere erweiterte Funktionen sind eine integrierte Hochgeschwindigkeitsstufe, motorisierte XY-Stufe, Registrierungsmarkierungen für die Bildausrichtung und Treuhandmarkierungen für wiederholbares, genaues Scannen. Darüber hinaus ist G 6 in der Lage, Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "zu handhaben und verfügt zudem über eine Kupplungseinrichtung zur kritischen Ausrichtung zwischen Wafern und Detektoren. Es hat auch die Fähigkeit, Belichtungszeiten und Bildverschlusszeit zu steuern und Jitter und Bildverzerrungen zu reduzieren. Schließlich bietet NIKON G6 eine Ethernet-Kommunikationsschnittstelle zur Fernbedienung und Überwachung. NIKON G 6 ist ein idealer Wafer-Stepper für die Halbleiterindustrie, da es überlegene Bildqualitätsmetriken, Präzisionslinearität der Bewegung und eine breite Palette von Unterstützungsfunktionen bietet. Mit seinen verschiedenen Komponenten und erweiterten Funktionen ist G6 in der Lage, genaue, hochwertige Waferbilder mit ausgezeichnetem Durchsatz zu produzieren.