Gebraucht NIKON G7 #293793324 zu verkaufen

NIKON G7 ist ein High-End-Lithographie-Stepper zur Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist mit fortschrittlicher Lithographie-Optik, Ausrichtgenauigkeit, einer Präzisions-XY-Stufe und einer High-Speed-Wafer-Transportausrüstung ausgestattet. NIKON G 7 ist mit einem 6M Pixel CCD, einer leistungsstarken 100W Quecksilberlampe und einer hohen numerischen Apertur (NA) von 0,7 ausgestattet. Das System kann feinere Eigenschaften gewinnen und den höchsten Durchfluss in den anspruchsvollsten Halbleiterfertigungsoblatenkonfigurationen bieten. G7 hat zwei Belichtungsmodi: den Strahlteilungsmodus, in dem der fokussierte Strahl sowohl zur Belichtung als auch zur Ausrichtung verwendet wird, und den Einzelstrahlmodus, in dem nur die Belichtung verwendet wird. Beide Modi verwenden eine einzigartige Expositionsstrategie, die niedrige Expositionsdosis und hohe Produktivität kombiniert. G 7 verfügt über ein einzigartiges XY-Bühnenbild, das eine sehr hohe Präzision in allen Achsen bietet. Es ist in der Lage, eine genaue Ausrichtgenauigkeit von 2,5 µm auch bei hohen Stufen Geschwindigkeiten. Darüber hinaus sind die Kanten des Sichtfeldes rund und kontinuierlich, was eine verbesserte Bildqualität und eine bessere Waferabdeckung bietet. Die Scaneinheit verfügt über einen großen Scanbereich, der maximale Feldüberschneidung und gleichmäßige Gleichmäßigkeit im gesamten Wafer ermöglicht. Die Scanbewegung wird durch drei hochentwickelte Sub-Scanning-Systeme weiter verbessert: zwei, um die Bühne in drei Achsen anzutreiben, und eines, um die Profilierung zu erledigen. Die Wafer-Transportmaschine von NIKON G7 verfügt über Hochgeschwindigkeits-Wafer-Klemmen und Entklemmen sowie High-Speed-Wafer-Transfers. Alle Antriebe sind linear und beseitigen Vibrationen, Geräusche und Verschleiß. Die Antriebsmotoren sind in der Lage, bis zu 8 Motorphasen zu liefern, um Geschwindigkeiten bis zu 500mm/s zu gewährleisten. NIKON G 7 ist mit einem vollwertigen Auftragsausführungstool ausgestattet, das Software und Steuerungssysteme von Drittanbietern problemlos integrieren und bedienen kann. Das Asset unterstützt auch den Touchscreen-Betrieb und die Integration von Routinetests wie kritischen Dimensions- und Prozessfenstermessungen. Insgesamt ist G7 ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der eine hohe Präzision und einen hohen Durchsatz für die Fertigung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente bietet. Mit seinen einzigartigen Eigenschaften ist es eine gute Wahl für jede Produktionslinie.