Gebraucht NIKON i10 #293807128 zu verkaufen
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NIKON i10 ist ein modernster Wafer-Stepper zur Herstellung von Halbleitern. Es hat einen hohen Durchsatz von bis zu 450 Wafern pro Stunde und arbeitet mit Scanbelichtungsausrichtung. Es nutzt eine lithographische Lichtquelle mit einer optischen Ausrichtungsvergrößerung von bis zu 1,120X und bietet die Möglichkeit, bis auf nur 0,3 Mikrometer präzise an kleinen Features zu arbeiten. Das innovative Design von NIKON I 10 verfügt über ein modulares Modul zur präzisen Ausrichtung. Der Einbau eines einstellbaren Lichtquellenmoduls ermöglicht die Flexibilität, die für die sich ständig verändernde Halbleiterindustrie erforderlich ist. Die Maschine ermöglicht auch die Strukturierung einer Vielzahl von Wafergrößen und integrierten Prozessüberwachungsfunktionen. I10 bietet ein einzigartiges Design mit zwei voneinander unabhängigen Retikeln, die untereinander umschaltbar sind und eine große Belichtungsfläche ermöglichen. Dies wird dadurch unterstützt, daß die integrierte niedrige k1- und k2-Korrektur auch bei komplexen Mustern einheitliche Muster erzeugt. Dies ermöglicht höhere Produktivitätsraten mit der Fähigkeit, zwischen den Retikeln zu wechseln, ohne dass die Maschine anhalten muss. I 10 profitiert von einer Reihe robuster Sicherheitsmerkmale wie einem Vakuumkammerdesign, das optimale Bedingungen beibehält und Verschmutzungen widersteht. Ein Umweltschutzsystem schützt die Lichtquellenkammer und hält den Bediener jederzeit sicher. Schließlich sorgt eine effiziente Antireflexbeschichtung für zuverlässige Leistung und hohe Erträge. Insgesamt ist NIKON i10 für hohen Durchsatz und Genauigkeit ausgelegt, was es ideal für die anspruchsvollsten Halbleiteranwendungen macht. Mit seinem modularen Aufbau, der einstellbaren Lichtquelle und den leistungsstarken Sicherheitsmerkmalen bietet es zuverlässige und kostengünstige Leistung für die Halbleiterproduktion.
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