Gebraucht NIKON i11 #293606913 zu verkaufen

NIKON i11
Hersteller
NIKON
Modell
i11
ID: 293606913
Stepper.
Schritt-NIKON i11 Oblate ist eine völlig automatisierte für Halbleiteroblatenverarbeitungsanwendungen entworfene Steindruckverfahrenausrüstung. Es bietet höchsten Durchsatz, aber mit maximaler Auflösung und Bildtreue. Die Maschine ist ideal für Produktionsprozesse in einer Vielzahl von Halbleiterbauelementen. NIKON I 11 System ist eine leistungsfähige und zuverlässige Lithographielösung für fortschrittliche Photomasken-Herstellungsprozesse. I11 Wafer-Stepper wird von einer fortschrittlichen 22mm Flachfeld- und 4K-computergesteuerten Ablenkeinheit angetrieben. Diese Maschine bietet eine hochpräzise Photolithographie-Verarbeitung mit einem großen Prozessfenster, das eine hohe Wiederholbarkeit gewährleistet. Der Stepper verfügt zudem über ein hochauflösendes optisches Werkzeug mit einer großen numerischen Apertur von 0,8 und einer Verschlusszeit von nur 4,5 ms. Der Stepper ist mit einer vollautomatischen Reinigungsanlage ausgestattet, die eine Sauberkeit des Retikels gewährleistet und die Partikelerzeugung minimiert. Das Modell verfügt auch über eine Niedertemperatur-Ansichtsprüfung, die es Benutzern ermöglicht, das mikroskopische Muster im Retikel zu überprüfen. Diese Funktion ermöglicht es Benutzern, Fehler oder Kontaminationen zu identifizieren, bevor der Maskenprozess beginnt, für maximale Ausbeute und Qualität. I 11 Wafer Stepper hat drei Stufen, darunter eine Waferstufe, Retikelstufe und Kammerstufe. Die Waferstufe ermöglicht eine präzise Steuerung des Abtastbereichs des Schrittschalters mit Hilfe von Winkelgebern und Servomotoren. Es verfügt auch über eine standardmäßige beheizte Futterausrüstung und eine Widerstandspfützenheizung, um eine einheitliche Temperatur- und Prozesskontrolle zu gewährleisten. Die Retikelstufe ist mit einem Luftlagerschieber ausgestattet, um die Maske festzuhalten und während der Belichtung perfekt auf das Waferfutter ausgerichtet zu halten. Die Kammerstufe enthält zahlreiche Komponenten, darunter einen Verschluss, einen MER-Schild, ein optisches Fenster, einen Diffusor und ein Hg-Lampengehäuse. Diese Stufe gewährleistet eine genaue, konsistente und wiederholbare Strukturierung während des Waferbelichtungsprozesses. NIKON i11 Wafer Stepper verfügt auch über eine benutzerfreundliche Software-Schnittstelle, die leicht von der Frontplatte zugegriffen werden kann. Mit dieser Schnittstelle können Anwender ihren Produktionsprozess einfach von einem zentralen Ort aus einrichten, steuern und überwachen. Der Stepper kann auch Rezeptinformationen wie Belichtungsparameter speichern, um ein bestimmtes Muster zu wiederholen. Insgesamt ist NIKON I 11 Wafer Stepper eine ideale Wahl für Wafer-Verarbeitungsanwendungen mit hohem Volumen. Es bietet ein hochauflösendes optisches System, eine automatisierte Reinigungseinheit, leistungsstarke Ablenk- und Scanfunktionen, eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle und eine vollautomatische Prozesssteuerung. Mit diesen Funktionen können Anwender schnell und effizient zuverlässige und qualitativ hochwertige Halbleiterbauelemente herstellen.
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