Gebraucht NIKON i11C #293600659 zu verkaufen

NIKON i11C Wafer Stepper ist die neueste Ausgabe der NIKON Linie von Wafer Stepper, die eine effiziente und präzise Halbleiterproduktion ermöglicht. Es ist das erste Modell, das mit einem neuen Hochleistungs-Projektionsobjektiv, dem i-LIGHT- Lens™, ausgestattet ist und eine klare, hochauflösende Lithographie mit einer breiten numerischen Apertur bietet. Hauptbestandteil von i11C ist die i-LIGHT- Lens™, die zwei gegenläufige zylindrische Spiegel kombiniert. Dadurch kann seine breite numerische Apertur von 0,325 und seine makellose Auflösung von 65 nm erreicht werden. Dieses Projektionsobjektiv ist in der Lage, breite Resistdicken mit schnellen Belichtungen effizient abzutasten. Die i11-Serie wurde mit optimierten Wafer-Verarbeitungsfunktionen konzipiert. Dazu gehört die effiziente Handhabung nicht nur von Standard-Halbleiterscheiben, sondern auch von ultradünnen Scheiben, Metall-auf-Isolator (MOI) -Scheiben und mehr. Präzise, hochdurchsatzreiche Bildgebung wird durch parallele Verarbeitung und fortschrittliche Autofokus-Technologie ermöglicht. Die Baureihe i11 verfügt über zahlreiche Präzisionstechnologien, um eine optimale Waferausrichtung und Waferabflachung zu gewährleisten. Das neueste High Aspect Ratio Exposure System (HARES) richtet Wafer schnell und präzise auf unebene Oberflächen und Kanten aus, indem es einen vergrößerten Belichtungsbereich und einen erweiterten Diversity-Bereich nutzt. Der Wafer-Stepper erfasst auch Informationen, die für eine fortschrittliche Prozesskontrolle und Qualitätssicherung unerlässlich sind. Daten über Bedingungen wie Bühnenposition, Linsenverschiebung und Overlay werden verfolgt und zur späteren Analyse gespeichert. Dies ermöglicht eine große Genauigkeit und Reproduzierbarkeit von Mustern, so dass NIKON i11C die hohen Anforderungen der fortschrittlichen Halbleiterherstellung erfüllen kann. Um eine effiziente Entwicklung und Bedienung zu ermöglichen, ist i11C mit einer umfassenden Software ausgestattet. Dazu gehören eine Vielzahl von Prozessdesign-Tools und Dienstprogrammen. Darüber hinaus sind Netzwerkfunktionen enthalten. Diese Funktionen ermöglichen die Kommunikation mit anderen NIKON-Systemen und bieten Anwendern die Flexibilität, sich mit anderen Produktionswerkzeugen zu verbinden. Insgesamt ist NIKON i11C ein leistungsstarkes, vielseitiges Werkzeug, das eine verbesserte Kontrolle und Genauigkeit gegenüber herkömmlichen Wafersteppern bietet. Es eignet sich hervorragend für anspruchsvolle Lithographieaufgaben wie Kontaktöffnungs- und Ätzschrittprozesse. Durch die Verwendung seiner Hochleistungs-Projektionslinse und der optimierten Wafer-Verarbeitungsfunktionen bietet es die Effizienz und Genauigkeit, die zur Unterstützung der Halbleiterherstellung erforderlich sind.