Gebraucht NIKON i11D #293797472 zu verkaufen

NIKON i11D
Hersteller
NIKON
Modell
i11D
ID: 293797472
Stepper.
NIKON i11D ist ein mehrschichtiger, hochauflösender Wafer-Stepper der NIKON Corporation. Es ist für die hochpräzise lithographische Verarbeitung von Mikrochips in der Halbleiterindustrie konzipiert, und es ist einer der fortschrittlichsten Stepper verfügbar. Es bietet hohe Ausrichtungsgenauigkeit, überlegene Belichtungsgenauigkeit und überlegene Overlay-Eigenschaften, die eine präzise Produktion der kompliziertesten Strukturen ermöglichen. NIKON I 11 D hat eine maximale Auflösung von 0,1 Mikrometern, was eine präzise Lithographie-Reproduktion und eine optimale Herstellung von Mikrochips ermöglicht. Es unterstützt die Strukturierung von Gerätedesigns mit feinen Linien/Raum-Features bis zu 0,11 µm und bis zu 0,25 µm für 3D-Strukturen. Seine optische Ausrüstung ermöglicht eine breite Palette von Belichtungswellenlängen von ultravioletten (UV) bis zu tiefen ultravioletten (DUV) Spektren. Sein fortgeschrittenes Anordnungskamerasystem mit mikroskopischen Eigenschaften entdeckt Eigenschaften mindestens 2 µm, und seine Autosteindruckverfahrensynchronisationseinheit sichert die höchste Genauigkeit für jede gemusterte Schicht. I11D hat eine große Stufe von 350 mm x 350 mm und kann große Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm verarbeiten. Es ist auch mit einer spezialisierten Wafer Handhabungsmaschine für erhöhte Glätte in den Stufen während der Musterung ausgestattet. Dadurch können mehrere Belichtungen in einem einzigen Prozess implementiert werden, was sowohl Wafer-Bearbeitungszeit als auch Kosten spart. Darüber hinaus verfügt die I 11 D über ein spezielles Reinigungswerkzeug zur Substrataufbereitung und ein hochpräzises Mikroskop zur Inspektion und Überwachung des Substratmusters. Diese Inspektions- und Überwachungsfähigkeit gewährleistet die Optimierung jedes Fertigungsergebnisses. Es enthält auch eine einzigartige automatische Anpassung Asset, um die Fokusebene für verschiedene Schichtdicken zu ändern und die höchste Qualität Musterung zu gewährleisten. Insgesamt ist NIKON i11D ein leistungsstarker Wafer-Stepper der nächsten Generation, der zuverlässige Leistung für hochentwickelte Mikrochip-Herstellungsprozesse bietet. Die hohe Auflösung, der breite Belichtungswellenlängenbereich, leistungsstarke Handhabungs- und Reinigungssysteme sowie präzise Inspektionsmöglichkeiten machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für hervorragende Lithographieergebnisse.
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