Gebraucht NIKON i11D #293805260 zu verkaufen

NIKON i11D ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der zum Trennen und Auflösen von Funktionen fortschrittlicher Halbleiterbauelemente entwickelt wurde. Durch die Kombination der fortschrittlichen Funktionen von optischen, mechanischen und elektronischen Komponenten ist der NIKON I 11 D Wafer Stepper in der Lage, mit einer Vielzahl von Wafergrößen und Prozessanwendungen zu arbeiten. Die mechanische Konstruktion i11D Wafer-Schrittes verfügt über einen 1-Achsmotor-Antrieb mit einem X/Y-Tisch, der eine präzise Positionierung der Waferoberfläche für eine optimale Belichtung ermöglicht. Die 1-Achse wird von einem Microstepping-Motor angetrieben, und ein Resistive-Motor-Encoder in Verbindung mit einem Controller ermöglicht eine Auflösung von bis zu 6 nm der X/Y-Tabelle. Die Waferstufe ist der Standard für die Industrie, mit einem Gesamtfahrbereich von 320mm X 100mm. I 11 D Wafer Stepper bietet eine breite Palette von Prozessfähigkeiten einschließlich Sputterabscheidung, thermische Oxidation und Mustertransfer. Es wurde entwickelt, um zwei 4-Achsen-Bewegungssysteme zu verwenden, um sicherzustellen, dass das Muster präzise auf das Substrat übertragen wird. Die erste Bewegungsachse ist am X/Y-Tisch angebracht und wird vom Mikrosteuermotor angetrieben, während die zweite Achse an der Kammereinheit angebracht ist und die Spindel antreibt. Diese Kombination bietet eine maximale Arbeitsfläche von 4,0 mm mal 40,0 mm. Die optische Ausrüstung auf NIKON i11D Wafer Stepper ist für hochauflösende Bildgebung ausgelegt Das System verwendet einen geneigten Strahlbeleuchter, in Verbindung mit einer CCD-Kamera, zur Aufnahme des Musters. Die CCD-Kamera ist für hochauflösende Bilder ausgelegt und bietet eine Auflösung von 7,5 nm. Die optische Einheit kann auch mit verschiedenen Bildverbesserungssystemen, wie UV-Lasern, integriert werden, um die Abbildungsfähigkeit weiter zu verbessern. Zusätzlich beinhaltet NIKON I 11 D Wafer Stepper eine Vakuumstufe, die bis zu 100 Wafer gleichzeitig aufnehmen kann. I11D Wafer-Stepper verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die von Maschinenbedienern, Ingenieuren und Technikern leicht navigiert werden kann. Die Maschine bietet eine grafische Benutzeroberfläche (GUI) in Echtzeit, die eine schnelle und genaue Prozesseinrichtung und -bedienung ermöglicht. Darüber hinaus bietet das Tool die Möglichkeit, Prozessrezepte zu speichern und zu reproduzieren. Insgesamt ist der I 11 D Wafer Stepper ein fortschrittliches Asset für die Halbleiterfab, die eine breite Palette von Prozessfähigkeiten bietet. Seine fortschrittlichen mechanischen, optischen und elektronischen Komponenten bieten präzise Wafer-Handhabung und Bildgebung, während seine intuitive Benutzeroberfläche eine effiziente Bedienung gewährleistet. Seine Kombination von Eigenschaften machen es zu einem sehr wünschenswerten Gerät für die Fertigungsindustrie.